Dvigubo damasceno technologija naudojama metalinėms jungtims gaminti integriniuose grandynuose. Tai yra toliau plėtojamas Damasko procesas. Formuojant skyles ir griovelius tuo pačiu metu tame pačiame proceso etape ir užpildant juos metalu, realizuojama integruota metalinių jungčių gamyba.
Kodėl jis vadinamas Damasku?
Damasko miestas yra Sirijos sostinė, o Damasko kardai garsėja savo aštrumu ir išskirtine tekstūra. Reikalingas savotiškas inkrustacijos procesas: pirmiausia ant Damasko plieno paviršiaus išgraviruojamas reikiamas raštas, o iš anksto paruoštos medžiagos sandariai įspaudžiamos į išgraviruotus griovelius. Užbaigus inkrustaciją, paviršius gali būti šiek tiek nelygus. Meistras kruopščiai ją nupoliruoja, kad užtikrintų bendrą lygumą. Šis procesas yra dvigubo Damasko lusto proceso prototipas. Pirmiausia dielektriniame sluoksnyje išgraviruojami grioveliai arba skylės, o tada jose užpildomas metalas. Užpildžius, metalo perteklius pašalinamas valcavimo būdu.
Pagrindiniai dvigubo damasceno proceso etapai yra šie:
▪ Dielektrinio sluoksnio nusodinimas:
Užtepkite dielektrinės medžiagos, tokios kaip silicio dioksidas (SiO2), sluoksnį ant puslaidininkiovaflis.
▪ Fotolitografija raštui apibrėžti:
Fotolitografijos pagalba apibrėžkite dielektrinio sluoksnio kiaurymių ir tranšėjų raštą.
▪Ėsdinimas:
Perkelkite kiaurymių ir tranšėjų raštą ant dielektrinio sluoksnio sausu arba šlapiu ėsdinimo būdu.
▪ Metalo nusodinimas:
Į kiaurymes ir tranšėjas įdėkite metalą, pvz., varį (Cu) arba aliuminį (Al), kad susidarytų metalinės jungtys.
▪ Cheminis mechaninis poliravimas:
Cheminis mechaninis metalo paviršiaus poliravimas, siekiant pašalinti metalo perteklių ir išlyginti paviršių.
Palyginti su tradiciniu metalinių jungčių gamybos procesu, dvigubas damasceno procesas turi šiuos privalumus:
▪Supaprastinti proceso žingsniai:Vienu metu, tame pačiame proceso etape formuojant kiaurymes ir tranšėjas, sutrumpėja proceso etapai ir gamybos laikas.
▪Pagerintas gamybos efektyvumas:Dėl proceso etapų sutrumpinimo dvigubas damasceno procesas gali pagerinti gamybos efektyvumą ir sumažinti gamybos sąnaudas.
▪Pagerinkite metalinių jungčių našumą:Dvigubas damasceno procesas gali pasiekti siauresnius metalinius sujungimus, taip pagerinant grandinių integraciją ir našumą.
▪Sumažinkite parazitinę talpą ir varžą:Naudojant mažo k dielektrines medžiagas ir optimizuojant metalinių jungčių struktūrą, galima sumažinti parazitinę talpą ir varžą, pagerinant grandinių greitį ir energijos suvartojimo našumą.
Įrašo laikas: 2024 m. lapkričio 25 d.