CMP-யின் பிளானரைசேஷன் வழிமுறை என்ன?

இரட்டை-டமாஸ்கீன் என்பது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் உலோக இடை இணைப்புகளை உற்பத்தி செய்யப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செயல்முறை தொழில்நுட்பமாகும். இது டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் மேலும் வளர்ச்சியாகும். ஒரே செயல்முறை படியில் ஒரே நேரத்தில் துளைகள் மற்றும் பள்ளங்கள் வழியாக உருவாக்கி அவற்றை உலோகத்தால் நிரப்புவதன் மூலம், உலோக இடை இணைப்புகளின் ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி உணரப்படுகிறது.

அது ஏன் டமாஸ்கஸ் என்று அழைக்கப்படுகிறது?

டமாஸ்கஸ் நகரம் சிரியாவின் தலைநகரம், மேலும் டமாஸ்கஸ் வாள்கள் அவற்றின் கூர்மை மற்றும் நேர்த்தியான அமைப்புக்கு பிரபலமானவை. ஒரு வகையான பதிக்கும் செயல்முறை தேவைப்படுகிறது: முதலில், தேவையான வடிவம் டமாஸ்கஸ் எஃகின் மேற்பரப்பில் பொறிக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் முன் தயாரிக்கப்பட்ட பொருட்கள் பொறிக்கப்பட்ட பள்ளங்களில் இறுக்கமாக பதிக்கப்பட்டுள்ளன. பதிக்கும் செயல்முறை முடிந்ததும், மேற்பரப்பு சிறிது சீரற்றதாக இருக்கலாம். ஒட்டுமொத்த மென்மையை உறுதி செய்வதற்காக கைவினைஞர் அதை கவனமாக மெருகூட்டுவார். மேலும் இந்த செயல்முறை சிப்பின் இரட்டை டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் முன்மாதிரியாகும். முதலில், மின்கடத்தா அடுக்கில் பள்ளங்கள் அல்லது துளைகள் பொறிக்கப்படுகின்றன, பின்னர் அவற்றில் உலோகம் நிரப்பப்படுகிறது. நிரப்பிய பிறகு, அதிகப்படியான உலோகம் cmp மூலம் அகற்றப்படும்.

இரட்டை டமாஸ்கீன் செயல்முறையின் முக்கிய படிகள் பின்வருமாறு:

▪ மின்கடத்தா அடுக்கின் படிவு:

குறைக்கடத்தியின் மீது சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO2) போன்ற மின்கடத்தாப் பொருளின் ஒரு அடுக்கைப் படிய வைக்கவும்.வேஃபர்.

▪ வடிவத்தை வரையறுக்க ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி:

மின்கடத்தா அடுக்கில் உள்ள வயாக்கள் மற்றும் அகழிகளின் வடிவத்தை வரையறுக்க ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபியைப் பயன்படுத்தவும்.

▪பொறித்தல்:

உலர்ந்த அல்லது ஈரமான பொறித்தல் செயல்முறை மூலம் வயாக்கள் மற்றும் அகழிகளின் வடிவத்தை மின்கடத்தா அடுக்குக்கு மாற்றவும்.

▪ உலோகப் படிவு:

உலோக இடைத்தொடர்புகளை உருவாக்க, தாமிரம் (Cu) அல்லது அலுமினியம் (Al) போன்ற உலோகங்களை, வயாக்கள் மற்றும் அகழிகளில் வைக்கவும்.

▪ வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல்:

அதிகப்படியான உலோகத்தை அகற்றி மேற்பரப்பை சமன் செய்ய உலோக மேற்பரப்பின் வேதியியல் இயந்திர மெருகூட்டல்.

பாரம்பரிய உலோக இடை இணைப்பு உற்பத்தி செயல்முறையுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​இரட்டை டமாஸ்கீன் செயல்முறை பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

▪எளிமைப்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை படிகள்:ஒரே செயல்முறைப் படியில் ஒரே நேரத்தில் வழியாக்கள் மற்றும் அகழிகளை உருவாக்குவதன் மூலம், செயல்முறைப் படிகளும் உற்பத்தி நேரமும் குறைக்கப்படுகின்றன.

▪மேம்பட்ட உற்பத்தி திறன்:செயல்முறை படிகளைக் குறைப்பதன் காரணமாக, இரட்டை டமாஸ்கீன் செயல்முறை உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தி உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கும்.

▪ உலோக இணைப்புகளின் செயல்திறனை மேம்படுத்தவும்:இரட்டை டமாஸ்கீன் செயல்முறை குறுகலான உலோக இணைப்புகளை அடைய முடியும், இதன் மூலம் சுற்றுகளின் ஒருங்கிணைப்பு மற்றும் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

▪ ஒட்டுண்ணி கொள்ளளவு மற்றும் எதிர்ப்பைக் குறைத்தல்:குறைந்த-கே மின்கடத்தாப் பொருட்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், உலோக இணைப்புகளின் கட்டமைப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், ஒட்டுண்ணி மின்தேக்கம் மற்றும் எதிர்ப்பைக் குறைக்கலாம், இதனால் சுற்றுகளின் வேகம் மற்றும் மின் நுகர்வு செயல்திறன் மேம்படும்.