CMP-யின் தளமாக்கல் பொறிமுறை என்பது என்ன?

டூயல்-டமாஸ்கஸ் என்பது ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளில் உலோக இணைப்புகளை உற்பத்தி செய்யப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு செயல்முறைத் தொழில்நுட்பமாகும். இது டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் ஒரு மேம்படுத்தப்பட்ட வடிவமாகும். ஒரே செயல்முறைப் படியில், ஒரே நேரத்தில் துளைகளையும் பள்ளங்களையும் உருவாக்கி, அவற்றை உலோகத்தால் நிரப்புவதன் மூலம், உலோக இணைப்புகளின் ஒருங்கிணைந்த உற்பத்தி சாத்தியமாகிறது.

சிஎம்பி (1)

 

அது ஏன் டமாஸ்கஸ் என்று அழைக்கப்படுகிறது?


டமாஸ்கஸ் நகரம் சிரியாவின் தலைநகரம் ஆகும், மேலும் டமாஸ்கஸ் வாள்கள் அவற்றின் கூர்மை மற்றும் நேர்த்தியான வேலைப்பாடுகளுக்காகப் புகழ்பெற்றவை. ஒரு வகையான பதிக்கப்படும் செயல்முறை தேவைப்படுகிறது: முதலில், டமாஸ்கஸ் எஃகின் மேற்பரப்பில் தேவையான வடிவம் பொறிக்கப்படுகிறது, பின்னர் முன்னரே தயாரிக்கப்பட்ட பொருட்கள் பொறிக்கப்பட்ட பள்ளங்களில் இறுக்கமாகப் பதிக்கப்படுகின்றன. பதிக்கும் பணி முடிந்த பிறகு, மேற்பரப்பு சற்று சீரற்றதாக இருக்கலாம். ஒட்டுமொத்த மென்மையை உறுதி செய்வதற்காக, கைவினைஞர் அதை கவனமாக மெருகூட்டுவார். மேலும் இந்த செயல்முறையே சிப்பின் இரட்டை டமாஸ்கஸ் செயல்முறையின் முன்மாதிரியாகும். முதலில், மின்காப்பு அடுக்கில் பள்ளங்கள் அல்லது துளைகள் பொறிக்கப்படுகின்றன, பின்னர் அவற்றில் உலோகம் நிரப்பப்படுகிறது. நிரப்பிய பிறகு, அதிகப்படியான உலோகம் சி.எம்.பி. மூலம் அகற்றப்படும்.

 சிஎம்பி (1)

 

இரட்டை டமாசீன் செயல்முறையின் முக்கிய படிகள் பின்வருமாறு:

 

▪ மின்காப்பு அடுக்கைப் படியவைத்தல்:


குறைக்கடத்தியின் மீது சிலிக்கான் டை ஆக்சைடு (SiO2) போன்ற மின்காப்புப் பொருளின் ஒரு அடுக்கைப் படிய வைக்கவும்.வேஃபர்.

 

▪ வடிவத்தை வரையறுக்க ஒளி அச்சுக்கலை:


மின்காப்பு அடுக்கில் உள்ள துளைகள் மற்றும் பள்ளங்களின் அமைப்பை வரையறுக்க ஒளிக்கல்லச்சு முறையைப் பயன்படுத்தவும்.

 

செதுக்குதல்:


உலர் அல்லது ஈரமான அரித்தல் செயல்முறையின் மூலம் துளைகள் மற்றும் பள்ளங்களின் வடிவமைப்பை மின்காப்பு அடுக்கிற்கு மாற்றவும்.

 

▪ உலோகப் படிவு:


உலோக இணைப்புகளை உருவாக்குவதற்காக, தாமிரம் (Cu) அல்லது அலுமினியம் (Al) போன்ற உலோகங்களை இடைவழிகளிலும் பள்ளங்களிலும் படிய வைக்கவும்.

 

▪ இரசாயன இயந்திர மெருகூட்டல்:


உலோக மேற்பரப்பில் உள்ள அதிகப்படியான உலோகத்தை அகற்றவும், மேற்பரப்பைச் சமப்படுத்தவும் செய்யப்படும் வேதியியல் மற்றும் இயந்திரமுறை மெருகேற்றம்.

 

 

பாரம்பரிய உலோக இணைப்பு உற்பத்தி செயல்முறையுடன் ஒப்பிடுகையில், இரட்டை டமாசீன் செயல்முறை பின்வரும் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

▪எளிதாக்கப்பட்ட செயல்முறைப் படிகள்:ஒரே செயல்முறைப் படியில், துளைகளையும் அகழிகளையும் ஒரே நேரத்தில் உருவாக்குவதன் மூலம், செயல்முறைப் படிகளும் உற்பத்தி நேரமும் குறைக்கப்படுகின்றன.

▪மேம்படுத்தப்பட்ட உற்பத்தித் திறன்:செயல்முறைப் படிகள் குறைக்கப்படுவதால், இரட்டை டமாஸ்கீன் செயல்முறையானது உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்தி, உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கும் திறன் கொண்டது.

▪உலோக இணைப்புகளின் செயல்திறனை மேம்படுத்துங்கள்:இரட்டை டமாசீன் செயல்முறையானது குறுகலான உலோக இணைப்புகளை அடைய உதவுவதோடு, அதன் மூலம் மின்சுற்றுகளின் ஒருங்கிணைப்பையும் செயல்திறனையும் மேம்படுத்துகிறது.

▪ தேவையற்ற மின்தேக்கம் மற்றும் மின்தடையைக் குறைக்கவும்:குறைந்த-k மின்காப்புப் பொருட்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலமும், உலோக இடை இணைப்புகளின் கட்டமைப்பை மேம்படுத்துவதன் மூலமும், தேவையற்ற மின்தேக்கம் மற்றும் மின்தடையைக் குறைக்க முடியும். இதன்மூலம், மின்சுற்றுகளின் வேகம் மற்றும் மின் நுகர்வு செயல்திறனை மேம்படுத்தலாம்.


பதிவிட்ட நேரம்: நவம்பர் 25, 2024
வாட்ஸ்அப் ஆன்லைன் அரட்டை!