డ్యూయల్-డమాస్సీన్ అనేది ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లలో మెటల్ ఇంటర్కనెక్ట్లను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే ఒక ప్రక్రియ సాంకేతికత. ఇది డమాస్కస్ ప్రక్రియ యొక్క మరింత అభివృద్ధి. ఒకే ప్రక్రియ దశలో ఒకే సమయంలో రంధ్రాలు మరియు పొడవైన కమ్మీల ద్వారా ఏర్పడి వాటిని లోహంతో నింపడం ద్వారా, మెటల్ ఇంటర్కనెక్ట్ల సమగ్ర తయారీని గ్రహించవచ్చు.
దీనిని డమాస్కస్ అని ఎందుకు పిలుస్తారు?
డమాస్కస్ నగరం సిరియా రాజధాని, మరియు డమాస్కస్ కత్తులు వాటి పదును మరియు సున్నితమైన ఆకృతికి ప్రసిద్ధి చెందాయి. ఒక రకమైన పొదుగు ప్రక్రియ అవసరం: ముందుగా, అవసరమైన నమూనాను డమాస్కస్ స్టీల్ ఉపరితలంపై చెక్కబడి, ముందుగా తయారుచేసిన పదార్థాలను చెక్కిన పొడవైన కమ్మీలలో గట్టిగా పొదుగుతారు. పొదుగు పూర్తయిన తర్వాత, ఉపరితలం కొద్దిగా అసమానంగా ఉండవచ్చు. మొత్తం సున్నితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి హస్తకళాకారుడు దానిని జాగ్రత్తగా పాలిష్ చేస్తాడు. మరియు ఈ ప్రక్రియ చిప్ యొక్క ద్వంద్వ డమాస్కస్ ప్రక్రియ యొక్క నమూనా. మొదట, డైఎలెక్ట్రిక్ పొరలో పొడవైన కమ్మీలు లేదా రంధ్రాలు చెక్కబడి, ఆపై వాటిలో లోహాన్ని నింపుతారు. నింపిన తర్వాత, అదనపు లోహం cmp ద్వారా తొలగించబడుతుంది.
ద్వంద్వ డమాస్కీన్ ప్రక్రియ యొక్క ప్రధాన దశలు:
▪ విద్యుద్వాహక పొర నిక్షేపణ:
సెమీకండక్టర్ పై సిలికాన్ డయాక్సైడ్ (SiO2) వంటి డైఎలెక్ట్రిక్ పదార్థం యొక్క పొరను జమ చేయండి.పొర.
▪ నమూనాను నిర్వచించడానికి ఫోటోలిథోగ్రఫీ:
డైఎలెక్ట్రిక్ పొరపై వయాస్ మరియు ట్రెంచ్ల నమూనాను నిర్వచించడానికి ఫోటోలిథోగ్రఫీని ఉపయోగించండి.
▪ ▪ అనువాదకులుఎచింగ్:
పొడి లేదా తడి ఎచింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా వయాస్ మరియు ట్రెంచ్ల నమూనాను డైఎలెక్ట్రిక్ పొరకు బదిలీ చేయండి.
▪ లోహ నిక్షేపణ:
లోహ ఇంటర్కనెక్ట్లను ఏర్పరచడానికి వయాస్ మరియు ట్రెంచ్లలో రాగి (Cu) లేదా అల్యూమినియం (Al) వంటి లోహాన్ని జమ చేయండి.
▪ రసాయన యాంత్రిక పాలిషింగ్:
అదనపు లోహాన్ని తొలగించి ఉపరితలాన్ని చదును చేయడానికి లోహ ఉపరితలం యొక్క రసాయన యాంత్రిక పాలిషింగ్.
సాంప్రదాయ మెటల్ ఇంటర్కనెక్ట్ తయారీ ప్రక్రియతో పోలిస్తే, డ్యూయల్ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ కింది ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది:
▪ సరళీకృత ప్రక్రియ దశలు:ఒకే ప్రక్రియ దశలో ఒకేసారి వయాస్ మరియు ట్రెంచ్లను ఏర్పరచడం ద్వారా, ప్రక్రియ దశలు మరియు తయారీ సమయం తగ్గుతాయి.
▪మెరుగైన తయారీ సామర్థ్యం:ప్రక్రియ దశల తగ్గింపు కారణంగా, ద్వంద్వ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ తయారీ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.
▪మెటల్ ఇంటర్కనెక్ట్ల పనితీరును మెరుగుపరచండి:ద్వంద్వ డమాస్సీన్ ప్రక్రియ ఇరుకైన మెటల్ ఇంటర్కనెక్ట్లను సాధించగలదు, తద్వారా సర్క్యూట్ల ఏకీకరణ మరియు పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.
▪ పరాన్నజీవి కెపాసిటెన్స్ మరియు నిరోధకతను తగ్గించండి:తక్కువ-కె డైఎలెక్ట్రిక్ పదార్థాలను ఉపయోగించడం ద్వారా మరియు లోహ ఇంటర్కనెక్ట్ల నిర్మాణాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడం ద్వారా, పరాన్నజీవి కెపాసిటెన్స్ మరియు నిరోధకతను తగ్గించవచ్చు, సర్క్యూట్ల వేగం మరియు విద్యుత్ వినియోగ పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది.
పోస్ట్ సమయం: నవంబర్-25-2024