Dual-Damascene je procesna tehnologija, ki se uporablja za izdelavo kovinskih povezovalnih elementov v integriranih vezjih. Gre za nadaljnji razvoj damaščanskega procesa. Z oblikovanjem skoznjih lukenj in utorov hkrati v istem procesnem koraku in njihovim polnjenjem s kovino se doseže integrirana proizvodnja kovinskih povezovalnih elementov.
Zakaj se imenuje Damask?
Damask je glavno mesto Sirije, damaščanski meči pa so znani po svoji ostrini in izvrstni teksturi. Potreben je neke vrste postopek intarzije: najprej se na površino damaščanskega jekla vgravira želeni vzorec, vnaprej pripravljeni materiali pa se tesno vstavijo v vgravirane utore. Po končani intarziji je površina lahko nekoliko neravna. Obrtnik jo skrbno spolira, da zagotovi splošno gladkost. Ta postopek je prototip dvojnega damaščanskega postopka odrezovanja. Najprej se v dielektrično plast vgravirajo utori ali luknje, nato pa se vanje vgradi kovina. Po polnjenju se odvečna kovina odstrani s cmp.
Glavni koraki postopka dvojnega damaščanskega slikarstva vključujejo:
▪ Nanos dielektrične plasti:
Na polprevodnik nanesite plast dielektričnega materiala, kot je silicijev dioksid (SiO2).oblati.
▪ Fotolitografija za definiranje vzorca:
S fotolitografijo določite vzorec prehodov in jarkov na dielektrični plasti.
▪Jedkanje:
Vzorec prehodov in jarkov prenesite na dielektrično plast s suhim ali mokrim postopkom jedkanja.
▪ Nanašanje kovine:
V odprtine in jarke nanesite kovino, kot je baker (Cu) ali aluminij (Al), da oblikujete kovinske medsebojne povezave.
▪ Kemično mehansko poliranje:
Kemično mehansko poliranje kovinske površine za odstranitev odvečne kovine in glajenje površine.
V primerjavi s tradicionalnim postopkom izdelave kovinskih medsebojnih povezav ima postopek dvojnega damascena naslednje prednosti:
▪ Poenostavljeni koraki postopka:Z istočasnim oblikovanjem prehodov in jarkov v istem procesnem koraku se skrajšajo procesni koraki in čas izdelave.
▪ Izboljšana učinkovitost proizvodnje:Zaradi zmanjšanja števila procesnih korakov lahko dvojni damascenski postopek izboljša učinkovitost proizvodnje in zmanjša proizvodne stroške.
▪ Izboljšajte delovanje kovinskih medsebojnih povezav:Dvojni damascenski postopek lahko doseže ožje kovinske medsebojne povezave, s čimer se izboljša integracija in delovanje vezij.
▪Zmanjšajte parazitsko kapacitivnost in upornost:Z uporabo dielektričnih materialov z nizko vrednostjo k in optimizacijo strukture kovinskih povezav je mogoče zmanjšati parazitsko kapacitivnost in upornost, kar izboljša hitrost in porabo energije vezij.
Čas objave: 25. november 2024