Երկակի Դամասկոսը ինտեգրալ սխեմաներում մետաղական միջմիավորներ արտադրելու համար օգտագործվող գործընթացային տեխնոլոգիա է: Այն Դամասկոսի գործընթացի հետագա զարգացումն է: Նույն գործընթացային փուլում միաժամանակ անցքեր և ակոսներ ձևավորելով և դրանք մետաղով լցնելով՝ իրականացվում է մետաղական միջմիավորների ինտեգրված արտադրություն:
Ինչո՞ւ է այն կոչվում Դամասկոս։
Դամասկոս քաղաքը Սիրիայի մայրաքաղաքն է, և դամասկոսյան սրերը հայտնի են իրենց սրությամբ և նուրբ հյուսվածքով: Պահանջվում է մի տեսակ ներդրման գործընթաց. նախ, անհրաժեշտ նախշը փորագրվում է դամասկոսյան պողպատի մակերեսին, և նախապես պատրաստված նյութերը սերտորեն ներդրվում են փորագրված ակոսների մեջ: Ներկման ավարտից հետո մակերեսը կարող է մի փոքր անհարթ լինել: Արհեստավորը զգուշորեն կփայլեցնի այն՝ ընդհանուր հարթությունն ապահովելու համար: Եվ այս գործընթացը չիպի կրկնակի դամասկոսյան գործընթացի նախատիպն է: Սկզբում դիէլեկտրիկ շերտում փորագրվում են ակոսներ կամ անցքեր, ապա դրանց մեջ լցվում է մետաղ: Լցնելուց հետո ավելորդ մետաղը կհեռացվի սմպ-ով:
Երկակի դամասկենային գործընթացի հիմնական քայլերն են՝
▪ Դիէլեկտրիկ շերտի նստեցում.
Կիսահաղորդչի վրա դիէլեկտրիկ նյութի շերտ, օրինակ՝ սիլիցիումի երկօքսիդի (SiO2), տեղադրելըվաֆլի.
▪ Լուսավիտոգրաֆիա՝ նախշը սահմանելու համար։
Օգտագործեք ֆոտոլիտոգրաֆիա՝ դիէլեկտրիկ շերտի վրա անցքերի և խրամատների նախշը սահմանելու համար։
▪Փորագրություն:
Միջանցիկների և խրամատների նախշը տեղափոխեք դիէլեկտրիկ շերտ՝ չոր կամ խոնավ փորագրման գործընթացով։
▪ Մետաղի նստեցում.
Մետաղը, օրինակ՝ պղինձը (Cu) կամ ալյումինը (Al), նստեցնել անցքերի և խրամատների մեջ՝ մետաղական միացումներ ձևավորելու համար։
▪ Քիմիական մեխանիկական հղկում։
Մետաղական մակերեսի քիմիական մեխանիկական հղկում՝ ավելորդ մետաղը հեռացնելու և մակերեսը հարթեցնելու համար։
Համեմատած մետաղական միջմիավորների արտադրության ավանդական գործընթացի հետ, կրկնակի դամասկենային գործընթացն ունի հետևյալ առավելությունները.
▪Պարզեցված գործընթացի քայլեր՝Նույն գործընթացի փուլում միաժամանակ անցքեր և խրամատներ ձևավորելով՝ կրճատվում են գործընթացի քայլերը և արտադրության ժամանակը։
▪Արտադրական արդյունավետության բարելավում.Գործընթացի քայլերի կրճատման շնորհիվ, կրկնակի դամասկենային գործընթացը կարող է բարելավել արտադրության արդյունավետությունը և նվազեցնել արտադրական ծախսերը։
▪Բարելավել մետաղական միջմիացումների աշխատանքը։Երկակի դամասկենային գործընթացը կարող է ապահովել ավելի նեղ մետաղական միացումներ, այդպիսով բարելավելով սխեմաների ինտեգրումը և աշխատանքը։
▪Նվազեցնել պարազիտային տարողունակությունն ու դիմադրությունը։Օգտագործելով ցածր k դիէլեկտրիկ նյութեր և օպտիմալացնելով մետաղական միացումների կառուցվածքը, կարելի է նվազեցնել պարազիտային տարողունակությունն ու դիմադրությունը՝ բարելավելով սխեմաների արագությունը և էներգասպառման ցուցանիշները։
Հրապարակման ժամանակը. Նոյեմբերի 25, 2024