सीएमपीची समतलीकरण यंत्रणा काय आहे?

ड्युअल-डमासीन हे इंटिग्रेटेड सर्किट्समध्ये मेटल इंटरकनेक्ट्स तयार करण्यासाठी वापरले जाणारे एक प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे. ही डमास्कस प्रक्रियेची पुढील विकसित आवृत्ती आहे. प्रक्रियेच्या एकाच टप्प्यात, एकाच वेळी थ्रू-होल्स आणि ग्रूव्ह्स तयार करून आणि ते धातूने भरून, मेटल इंटरकनेक्ट्सचे एकात्मिक उत्पादन साकारले जाते.

त्याला दमास्कस का म्हणतात?

दमास्कस शहर सीरियाची राजधानी आहे आणि दमास्कस तलवारी त्यांच्या तीक्ष्णतेसाठी आणि उत्कृष्ट पोतासाठी प्रसिद्ध आहेत. यासाठी एका प्रकारच्या जडावकाम प्रक्रियेची आवश्यकता असते: प्रथम, दमास्कस स्टीलच्या पृष्ठभागावर आवश्यक नमुना कोरला जातो आणि पूर्व-तयार साहित्य कोरलेल्या खाचांमध्ये घट्टपणे बसवले जाते. जडावकाम पूर्ण झाल्यावर, पृष्ठभाग थोडा असमान असू शकतो. संपूर्ण पृष्ठभाग गुळगुळीत असल्याची खात्री करण्यासाठी कारागीर तो काळजीपूर्वक पॉलिश करतो. आणि ही प्रक्रिया चिपच्या दुहेरी दमास्कस प्रक्रियेचा मूळ नमुना आहे. प्रथम, डायलेक्ट्रिक थरात खाचा किंवा छिद्रे कोरली जातात आणि नंतर त्यात धातू भरला जातो. भरल्यानंतर, अतिरिक्त धातू सीएमपीद्वारे काढून टाकला जातो.

दुहेरी डमासीन प्रक्रियेच्या मुख्य टप्प्यांमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश आहे:

▪ पराविद्युत थराचे निक्षेपण:

सेमीकंडक्टरवर सिलिकॉन डायऑक्साइड (SiO2) सारख्या डायलेक्ट्रिक पदार्थाचा थर जमा करावेफर.

▪ नमुना निश्चित करण्यासाठी फोटोलिथोग्राफी:

डायलेक्ट्रिक थरावर व्हिया आणि ट्रेंचेसचा नमुना निश्चित करण्यासाठी फोटोलिथोग्राफीचा वापर करा.

▪कोरीवकाम:

ड्राय किंवा वेट एचिंग प्रक्रियेद्वारे व्हिया आणि ट्रेंचेसचा पॅटर्न डायलेक्ट्रिक लेयरवर स्थानांतरित करा.

▪ धातूचे निक्षेपण:

मेटल इंटरकनेक्ट्स तयार करण्यासाठी व्हिया आणि ट्रेंचेसमध्ये तांबे (Cu) किंवा ॲल्युमिनियम (Al) सारखे धातू जमा करा.

▪ रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग:

धातूच्या पृष्ठभागावरील अतिरिक्त धातू काढून टाकण्यासाठी आणि पृष्ठभाग सपाट करण्यासाठी त्याचे रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग करणे.

पारंपारिक मेटल इंटरकनेक्ट उत्पादन प्रक्रियेच्या तुलनेत, ड्युअल डमासीन प्रक्रियेचे खालील फायदे आहेत:

▪सरलीकृत प्रक्रिया टप्पे:एकाच प्रक्रिया टप्प्यात एकाच वेळी व्हिया आणि ट्रेंचेस तयार केल्याने, प्रक्रिया टप्पे आणि उत्पादन वेळ कमी होतो.

▪उत्पादन कार्यक्षमतेत सुधारणा:प्रक्रियेच्या टप्प्यांची संख्या कमी झाल्यामुळे, ड्युअल डमासीन प्रक्रिया उत्पादन कार्यक्षमता सुधारू शकते आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकते.

▪मेटल इंटरकनेक्ट्सची कार्यक्षमता सुधारा:दुहेरी डमासीन प्रक्रियेमुळे अधिक अरुंद मेटल इंटरकनेक्ट्स मिळवता येतात, ज्यामुळे सर्किट्सचे एकत्रीकरण आणि कार्यक्षमता सुधारते.

▪ पॅरासिटिक कपॅसिटन्स आणि रेझिस्टन्स कमी करा:कमी-k डायलेक्ट्रिक सामग्री वापरून आणि धातूच्या इंटरकनेक्ट्सची रचना अनुकूलित करून, पॅरासिटिक कपॅसिटन्स आणि रेझिस्टन्स कमी करता येतात, ज्यामुळे सर्किट्सचा वेग आणि वीज वापराची कार्यक्षमता सुधारते.