सीएमपीची प्लॅनरायझेशन यंत्रणा काय आहे?

ड्युअल-डॅमॅसिन ही एकात्मिक सर्किटमध्ये धातूचे इंटरकनेक्ट तयार करण्यासाठी वापरली जाणारी एक प्रक्रिया तंत्रज्ञान आहे. ही दमास्कस प्रक्रियेचा पुढील विकास आहे. एकाच प्रक्रियेच्या टप्प्यात एकाच वेळी छिद्रे आणि खोबणी तयार करून आणि त्यांना धातूने भरून, धातूच्या इंटरकनेक्टचे एकात्मिक उत्पादन साध्य केले जाते.

त्याला दमास्कस का म्हणतात?

दमास्कस शहर हे सीरियाची राजधानी आहे आणि दमास्कस तलवारी त्यांच्या तीक्ष्णपणा आणि उत्कृष्ट पोतासाठी प्रसिद्ध आहेत. एक प्रकारची जडवण्याची प्रक्रिया आवश्यक आहे: प्रथम, दमास्कस स्टीलच्या पृष्ठभागावर आवश्यक नमुना कोरला जातो आणि पूर्व-तयार केलेले साहित्य कोरलेल्या खोबणींमध्ये घट्ट बसवले जाते. जडवण्याची प्रक्रिया पूर्ण झाल्यानंतर, पृष्ठभाग थोडा असमान असू शकतो. संपूर्ण गुळगुळीतपणा सुनिश्चित करण्यासाठी कारागीर ते काळजीपूर्वक पॉलिश करेल. आणि ही प्रक्रिया चिपच्या दुहेरी दमास्कस प्रक्रियेचा नमुना आहे. प्रथम, डायलेक्ट्रिक थरात खोबणी किंवा छिद्रे कोरली जातात आणि नंतर त्यामध्ये धातू भरला जातो. भरल्यानंतर, अतिरिक्त धातू cmp द्वारे काढून टाकला जाईल.

दुहेरी दमासीन प्रक्रियेच्या मुख्य टप्प्यांमध्ये हे समाविष्ट आहे:

▪ डायलेक्ट्रिक थराचे संचयन:

सेमीकंडक्टरवर सिलिकॉन डायऑक्साइड (SiO2) सारख्या डायलेक्ट्रिक पदार्थाचा थर जमा करा.वेफर.

▪ नमुना परिभाषित करण्यासाठी फोटोलिथोग्राफी:

डायलेक्ट्रिक थरावरील विया आणि खंदकांचा नमुना परिभाषित करण्यासाठी फोटोलिथोग्राफी वापरा.

▪एचिंग:

कोरड्या किंवा ओल्या एचिंग प्रक्रियेद्वारे व्हिया आणि ट्रेंचचा नमुना डायलेक्ट्रिक थरात स्थानांतरित करा.

▪ धातूचे संचयन:

धातूचे इंटरकनेक्‍ट तयार करण्यासाठी तांबे (Cu) किंवा अॅल्युमिनियम (Al) सारखे धातू विया आणि खंदकांमध्ये जमा करा.

▪ रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग:

धातूच्या पृष्ठभागावर रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग करून जास्तीचा धातू काढून टाकणे आणि पृष्ठभाग सपाट करणे.

पारंपारिक मेटल इंटरकनेक्ट उत्पादन प्रक्रियेच्या तुलनेत, ड्युअल डॅमॅसिन प्रक्रियेचे खालील फायदे आहेत:

▪सरलीकृत प्रक्रिया पायऱ्या:एकाच प्रक्रियेच्या टप्प्यात एकाच वेळी विया आणि खंदक तयार केल्याने, प्रक्रियेचे टप्पे आणि उत्पादन वेळ कमी होतो.

▪सुधारित उत्पादन कार्यक्षमता:प्रक्रियेच्या पायऱ्या कमी केल्यामुळे, दुहेरी दमासीन प्रक्रिया उत्पादन कार्यक्षमता सुधारू शकते आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकते.

▪मेटल इंटरकनेक्ट्सची कार्यक्षमता सुधारणे:दुहेरी डॅमॅसिन प्रक्रियेमुळे धातूचे अरुंद इंटरकनेक्शन मिळू शकतात, ज्यामुळे सर्किट्सचे एकत्रीकरण आणि कार्यप्रदर्शन सुधारते.

▪परजीवी क्षमता आणि प्रतिकार कमी करा:कमी-के डायलेक्ट्रिक मटेरियल वापरून आणि मेटल इंटरकनेक्ट्सची रचना ऑप्टिमाइझ करून, परजीवी कॅपेसिटन्स आणि रेझिस्टन्स कमी करता येतो, ज्यामुळे सर्किट्सची गती आणि वीज वापर कार्यक्षमता सुधारते.