Дуал-Дамасцен је процесна технологија која се користи за производњу металних међусобних веза у интегрисаним колима. То је даљи развој Дамаскус процеса. Формирањем пролазних рупа и жлебова истовремено у истом кораку процеса и њиховим пуњењем металом, остварује се интегрисана производња металних међусобних веза.
Зашто се зове Дамаск?
Град Дамаск је главни град Сирије, а дамаски мачеви су познати по својој оштрини и изврсној текстури. Потребан је одређени процес интарзије: прво се жељени узорак гравира на површини дамаског челика, а претходно припремљени материјали се чврсто угравирају у гравиране жлебове. Након што је интарзија завршена, површина може бити мало неравна. Мајстор ће је пажљиво полирати како би осигурао укупну глаткоћу. А овај процес је прототип двоструког дамаског процеса чипа. Прво се жлебови или рупе гравирају у диелектричном слоју, а затим се у њих попуњава метал. Након попуњавања, вишак метала ће се уклонити цмп-ом.
Главни кораци процеса двоструког дамаскина укључују:
▪ Наношење диелектричног слоја:
Нанесите слој диелектричног материјала, као што је силицијум диоксид (SiO2), на полупроводниквафла.
▪ Фотолитографија за дефинисање шаблона:
Користите фотолитографију да дефинишете образац отвора и жлебова на диелектричном слоју.
▪Гравирање:
Пренесите образац отвора и ровова на диелектрични слој сувим или мокрим поступком нагризања.
▪ Таложење метала:
Нанесите метал, као што је бакар (Cu) или алуминијум (Al), у отворе и жлебове да бисте формирали металне међусобне везе.
▪ Хемијско-механичко полирање:
Хемијско механичко полирање металне површине ради уклањања вишка метала и изравнавања површине.
У поређењу са традиционалним поступком производње металних међусобних веза, поступак са двоструким дамасценом има следеће предности:
▪Поједностављени кораци процеса:Истовременим формирањем пролаза и жлебова у истом кораку процеса, скраћују се кораци процеса и време производње.
▪Побољшана ефикасност производње:Због смањења броја процесних корака, двоструки дамаскински процес може побољшати ефикасност производње и смањити трошкове производње.
▪Побољшајте перформансе металних међусобних веза:Двоструки дамаскински процес може постићи уже металне међусобне везе, чиме се побољшава интеграција и перформансе кола.
▪Смањите паразитски капацитет и отпор:Коришћењем ниско-к диелектричних материјала и оптимизацијом структуре металних међусобних веза, могу се смањити паразитски капацитет и отпор, побољшавајући брзину и перформансе потрошње енергије кола.
Време објаве: 25. новембар 2024.