דואַל-דמשק איז אַ פּראָצעס טעכנאָלאָגיע געניצט צו פאַבריצירן מעטאַל ינטערקאַנעקץ אין אינטעגרירטע קרייזן. דאָס איז אַ ווייטערדיקע אַנטוויקלונג פון דעם דמשק פּראָצעס. דורך פאָרמען דורך לעכער און גרוווז אין דער זעלביקער צייט אין דעם זעלבן פּראָצעס שריט און זיי אָנפֿילן מיט מעטאַל, ווערט די אינטעגרירטע פאַבריקאַציע פון מעטאַל ינטערקאַנעקץ רעאַליזירט.
פארוואס הייסט עס דמשק?
די שטאָט דמשק איז די הויפּטשטאָט פֿון סיריע, און דמשק שווערדן זענען באַרימט פֿאַר זייער שאַרפֿקייט און אויסגעצייכנטע טעקסטור. אַ סאָרט אײַנלייגן פּראָצעס איז נויטיק: ערשטנס, ווערט דער נויטיקער מוסטער אײַנגעגראַווירט אויף דער ייבערפֿלאַך פֿון דמשק שטאָל, און די פֿאָר-צוגעגרייטע מאַטעריאַלן ווערן פֿעסט אײַנגעליגט אין די אײַנגעגראַווירטע גרובן. נאָכדעם ווי דער אײַנלייגן איז פֿאַרטיק, קען די ייבערפֿלאַך זײַן אַ ביסל אומגלייך. דער בעל-מלאכה וועט עס פֿאָרזיכטיק פּאָלירן צו פֿאַרזיכערן די אַלגעמיינע גלאַטקייט. און דער פּראָצעס איז דער פּראָטאָטיפּ פֿון דעם דואַלן דמשק פּראָצעס פֿון דעם טשיפּ. ערשטנס, ווערן גרובן אָדער לעכער אײַנגעגראַווירט אין דער דיעלעקטרישער שיכט, און דערנאָך ווערט מעטאַל אײַנגעפֿילט. נאָכן אײַנפֿילן, וועט דער איבעריקער מעטאַל אַוועקגענומען ווערן דורך cmp.
די הויפּט טריט פון דעם צווייפאַכן דאַמאַססין פּראָצעס אַרייַננעמען:
▪ אָפּלייגונג פון דיעלעקטרישער שיכט:
אַוועקלייגן אַ שיכט פון דיעלעקטריש מאַטעריאַל, אַזאַ ווי סיליקאָן דייאַקסייד (SiO2), אויף די האַלב-קאָנדוקטאָרוועיפער.
▪ פאָטאָליטאָגראַפי צו דעפינירן דעם מוסטער:
ניצט פאָטאָליטאָגראַפי צו דעפינירן דעם מוסטער פון וויאַס און טרענטשעס אויף דער דיעלעקטרישער שיכט.
▪עטשינג:
טראַנספערירן דעם מוסטער פון וויאַס און טרענטשעס צו די דיעלעקטרישע שיכט דורך אַ טרוקן אָדער נאַס עטשינג פּראָצעס.
▪ אָפּלייגונג פון מעטאַל:
אַוועקלייגן מעטאַל, ווי קופּער (Cu) אָדער אַלומינום (Al), אין וויאַס און טרענטשעס צו פֿאָרמירן מעטאַל פֿאַרבינדונגען.
▪ כעמישע מעכאנישע פּאָלירונג:
כעמישע מעכאנישע פאלירונג פון דער מעטאל-אייבערפלאך צו באזייטיגן איבעריגן מעטאל און גלאט מאכן די אויבערפלאך.
קאַמפּערד מיט דעם טראדיציאנעלן מעטאַל ינטערקאַנעקט מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, האט דער דואַל דאַמאַססין פּראָצעס די פאלגענדע אַדוואַנידזשיז:
▪פאַרפּשוטע פּראָצעס טריט:דורך פאָרמירן וויאַס און טרענטשעס סיימאַלטייניאַסלי אין דעם זעלבן פּראָצעס שריט, ווערן די פּראָצעס טריט און מאַנופאַקטורינג צייט רידוסט.
▪פֿאַרבעסערטע פּראָדוקציע עפֿעקטיווקייט:צוליב דער רעדוקציע פון פּראָצעס טריט, קען דער צווייפאַכיקער דאַמאַססין פּראָצעס פֿאַרבעסערן מאַנופאַקטורינג עפעקטיווקייט און רעדוצירן פּראָדוקציע קאָסטן.
▪פאַרבעסערן די פאָרשטעלונג פון מעטאַל ינטערקאַנעקץ:דער דואַל דאַמאַססין פּראָצעס קען דערגרייכן שמאָלערע מעטאַל פֿאַרבינדונגען, דערמיט פֿאַרבעסערן די אינטעגראַציע און פאָרשטעלונג פֿון קרייזן.
▪רעדוצירן פּאַראַזיטישע קאַפּאַסיטאַנס און קעגנשטעל:דורך ניצן נידעריק-k דיעלעקטרישע מאַטעריאַלן און אָפּטימיזירן די סטרוקטור פון מעטאַל ינטערקאַנעקץ, קען מען רעדוצירן פּאַראַזיטישע קאַפּאַסיטאַנס און קעגנשטעל, וואָס פֿאַרבעסערט די גיכקייט און מאַכט קאַנסאַמשאַן פאָרשטעלונג פון סערקאַץ.
פּאָסט צייט: 25סטן נאוועמבער 2024