Kí ni ètò ìṣètò ti CMP?

Dual-Damascene jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ilana tí a ń lò láti ṣe àwọn asopọ̀ irin ní àwọn iyika alápapọ̀. Ó jẹ́ ìdàgbàsókè síwájú síi ti ilana Damasku. Nípa ṣíṣe àwọn ihò àti ihò ní àkókò kan náà ní ìgbésẹ̀ ilana kan náà àti fífi irin kún wọn, a ṣe àṣeyọrí iṣẹ́-ṣíṣe àwọn asopọ̀ irin alápapọ̀.

Kí ló dé tí wọ́n fi ń pè é ní Damasku?

Ìlú Damasku ni olú ìlú Siria, àwọn idà Damasku sì lókìkí fún dídán wọn àti ìrísí wọn tó dára. Irú ìlànà ìdènà ni a nílò: àkọ́kọ́, a gbẹ́ àwòrán tí a fẹ́ sórí ojú irin Damasku, a sì fi àwọn ohun èlò tí a ti pèsè sílẹ̀ sínú àwọn ihò tí a fín. Lẹ́yìn tí a bá ti parí ìdènà náà, ojú rẹ̀ lè má dọ́gba díẹ̀. Oníṣẹ́ ọnà náà yóò fi ìṣọ́ra yọ́ ọ láti rí i dájú pé gbogbo rẹ̀ mọ́lẹ̀ dáadáa. Ìlànà yìí sì ni àpẹẹrẹ ìlànà Damasku méjì ti ìdènà náà. Àkọ́kọ́, a ó gbẹ́ àwọn ihò tàbí ihò sínú ìpele dielectric, lẹ́yìn náà a ó fi irin kún wọn. Lẹ́yìn tí a bá ti kún un, a ó yọ irin tí ó pọ̀ jù kúrò nípa cmp.

Àwọn ìgbésẹ̀ pàtàkì ti ilana èjìká méjì náà ni:

▪ Ìgbékalẹ̀ ìpele dielectric:

Fi fẹlẹfẹlẹ kan ti awọn ohun elo dielectric, gẹgẹbi silicon dioxide (SiO2), sori semiconductor kanwafer.

▪ Fọ́tòlítọ́pọ́ láti ṣàlàyé àpẹẹrẹ náà:

Lo photolithography lati ṣalaye apẹrẹ ti awọn vias ati awọn ihò lori fẹlẹfẹlẹ dielectric.

▪Ìfọ́:

Gbe ilana awọn vias ati awọn ihò si fẹlẹfẹlẹ dielectric nipasẹ ilana gbigbẹ tabi tutu.

▪ Ìgbékalẹ̀ irin:

Fi irin, bíi bàbà (Cu) tàbí aluminiomu (Al), sínú àwọn ọ̀nà àti ihò láti ṣe àwọn ìsopọ̀ irin.

▪ Ṣíṣe àtúnṣe kẹ́míkà nípa ẹ̀rọ:

Ṣíṣe àtúnṣe kẹ́míkà lórí ojú irin láti mú irin tó pọ̀ jù kúrò kí ó sì tẹ́ ojú rẹ̀.

Ní ìfiwéra pẹ̀lú ìlànà ìṣelọ́pọ́ irin ìbílẹ̀, ìlànà èjìká méjì ní àwọn àǹfààní wọ̀nyí:

▪Àwọn ìgbésẹ̀ ìlànà tí a mú rọrùn:Nípa ṣíṣe àwọn vias àti trenches ní àkókò kan náà ní ìgbésẹ̀ ìlànà kan náà, àwọn ìgbésẹ̀ ìlànà àti àkókò iṣẹ́ ajé ti dínkù.

▪Ìmúṣe iṣẹ́-ṣíṣe tí ó dára síi:nítorí ìdínkù àwọn ìgbésẹ̀ ìlànà, ìlànà èjìká méjì lè mú kí iṣẹ́ ṣíṣe pọ̀ sí i kí ó sì dín iye owó iṣẹ́ ṣíṣe kù.

▪Mu iṣẹ awọn asopọ irin dara si:Ilana damascene meji le ṣaṣeyọri awọn isopọ irin ti o kere si, nitorinaa mu isọdọkan ati iṣẹ awọn iyika dara si.

▪Dín agbára àti agbára ìdènà àwọn kòkòrò àrùn kù:Nípa lílo àwọn ohun èlò dielectric low-k àti ṣíṣe àtúnṣe ìṣètò àwọn ìsopọ̀ irin, agbára parasitic àti resistance le dínkù, èyí sì lè mú kí iyàrá àti agbára ìlò àwọn iyika pọ̀ sí i.