Dual-Damascene je procesna tehnologija koja se koristi za proizvodnju metalnih međuspojeva u integriranim kolima. To je daljnji razvoj Damascus procesa. Integrirana proizvodnja metalnih međuspojeva se ostvaruje istovremenim formiranjem prolaznih rupa i žljebova u istom procesnom koraku i njihovim popunjavanjem metalom.
Zašto se zove Damask?
Grad Damask je glavni grad Sirije, a damaščanski mačevi su poznati po svojoj oštrini i izuzetnoj teksturi. Potreban je svojevrsni proces intarzije: prvo se željeni uzorak gravira na površinu damaščanskog čelika, a prethodno pripremljeni materijali se čvrsto ugraviraju u ugravirane žljebove. Nakon što je intarzija završena, površina može biti malo neravna. Majstor će je pažljivo ispolirati kako bi osigurao ukupnu glatkoću. Ovaj proces je prototip dvostrukog damaščanskog procesa čipa. Prvo se u dielektrični sloj ugraviraju žljebovi ili rupe, a zatim se u njih puni metal. Nakon punjenja, višak metala će se ukloniti postupkom cmp.
Glavni koraci procesa dvostrukog damascena uključuju:
▪ Nanošenje dielektričnog sloja:
Nanesite sloj dielektričnog materijala, kao što je silicijum dioksid (SiO2), na poluprovodnikoblatna.
▪ Fotolitografija za definiranje uzorka:
Koristite fotolitografiju za definiranje uzorka otvora i rovova na dielektričnom sloju.
▪Graviranje:
Prenesite uzorak otvora i rovova na dielektrični sloj suhim ili mokrim postupkom nagrizanja.
▪ Taloženje metala:
Nanesite metal, kao što je bakar (Cu) ili aluminij (Al), u prolaze i kanale kako biste formirali metalne međusobne spojeve.
▪ Hemijsko-mehaničko poliranje:
Hemijsko-mehaničko poliranje metalne površine radi uklanjanja viška metala i izravnavanja površine.
U poređenju sa tradicionalnim procesom proizvodnje metalnih međuspojeva, proces dvostrukog damascena ima sljedeće prednosti:
▪Pojednostavljeni koraci procesa:Istovremenim formiranjem prolaza i rovova u istom procesnom koraku, skraćuju se procesni koraci i vrijeme proizvodnje.
▪Poboljšana efikasnost proizvodnje:Zbog smanjenja broja procesnih koraka, dvostruki damascenski proces može poboljšati efikasnost proizvodnje i smanjiti troškove proizvodnje.
▪Poboljšajte performanse metalnih međusobnih veza:Dvostruki damascen proces može postići uže metalne međusobne veze, čime se poboljšava integracija i performanse kola.
▪Smanjite parazitski kapacitet i otpor:Korištenjem dielektričnih materijala s niskom k konstantom i optimizacijom strukture metalnih međuspojeva, mogu se smanjiti parazitski kapacitet i otpor, poboljšavajući brzinu i performanse potrošnje energije kola.
Vrijeme objave: 25. novembar 2024.