Dual-Damascene on protsessitehnoloogia, mida kasutatakse integraallülituste metallühenduste valmistamiseks. See on Damaskuse protsessi edasiarendus. Läbivate aukude ja soonte samaaegsel moodustamisel samas protsessietapis ning nende metalliga täitmisel realiseeritakse metallühenduste integreeritud tootmine.
Miks seda Damaskuseks nimetatakse?
Damaskuse linn on Süüria pealinn ja Damaskuse mõõgad on kuulsad oma teravuse ja peene tekstuuri poolest. Vajalik on omamoodi inkrustatsiooniprotsess: kõigepealt graveeritakse Damaskuse terase pinnale vajalik muster ja eelnevalt ettevalmistatud materjalid inkrusteeritakse tihedalt graveeritud soontesse. Pärast inkrustatsiooni valmimist võib pind olla veidi ebaühtlane. Meister poleerib selle hoolikalt, et tagada üldine siledus. See protsess on kiibi kahekordse Damaskuse protsessi prototüüp. Esmalt graveeritakse dielektrilisse kihti sooned või augud ja seejärel täidetakse need metalliga. Pärast täitmist eemaldatakse liigne metall cmp-ga.
Kahekordse damastseenprotsessi peamised etapid hõlmavad järgmist:
▪ Dielektrilise kihi sadestamine:
Kandke pooljuhile dielektrilise materjali kiht, näiteks ränidioksiidi (SiO2).vahvel.
▪ Mustri määratlemiseks fotolitograafia:
Kasutage fotolitograafiat, et määratleda dielektrilisel kihil olevate viade ja tranšeede muster.
▪Söövitamine:
Kandke viade ja tranšeede muster dielektrilisele kihile kuiva või märja söövituse teel.
▪ Metalli sadestamine:
Ladestage metall, näiteks vask (Cu) või alumiinium (Al), läbilaskeavadesse ja kraavidesse, et moodustada metallühendusi.
▪ Keemiline-mehaaniline poleerimine:
Metallpinna keemiline mehaaniline poleerimine liigse metalli eemaldamiseks ja pinna tasandamiseks.
Võrreldes traditsioonilise metallühenduste tootmisprotsessiga on kahekordsel damastseenprotsessil järgmised eelised:
▪Lihtsustatud protsessietapid:Via-de ja tranšeede samaaegse moodustamisega samas protsessietapis lühenevad protsessi etapid ja tootmisaeg.
▪Tõhusam tootmise efektiivsus:Tänu protsessietappide vähendamisele saab kahekordse damastseenprotsessi abil parandada tootmise efektiivsust ja vähendada tootmiskulusid.
▪Parandage metallühenduste toimivust:Kahekordne damastseenprotsess võimaldab saavutada kitsamaid metallühendusi, parandades seeläbi vooluringide integreerimist ja jõudlust.
▪Vähendage parasiitset mahtuvust ja takistust:Madala k dielektrilise koefitsiendiga materjalide kasutamise ja metallühenduste struktuuri optimeerimise abil saab vähendada parasiitset mahtuvust ja takistust, parandades vooluahelate kiirust ja energiatarbimist.
Postituse aeg: 25. november 2024