الدمشقي المزدوج هو تقنية معالجة تُستخدم لتصنيع الوصلات المعدنية في الدوائر المتكاملة. وهو تطويرٌ إضافي لعملية الدمشقي. من خلال تشكيل ثقوبٍ وأخاديدٍ في نفس خطوة المعالجة، وملؤها بالمعدن، يتم تحقيق التصنيع المتكامل للوصلات المعدنية.
لماذا سميت دمشق؟
مدينة دمشق هي عاصمة سوريا، وتشتهر سيوف دمشق بحدتها وجمال ملمسها. تتطلب عملية الترصيع نوعًا من النقش: أولًا، يُنقش النمط المطلوب على سطح الفولاذ الدمشقي، وتُرصَّع المواد المُجهزة مسبقًا بإحكام في الأخاديد المحفورة. بعد اكتمال الترصيع، قد يكون السطح غير مستوٍ بعض الشيء. يقوم الحرفي بتلميعه بعناية لضمان نعومته الكلية. وهذه العملية هي النموذج الأولي لعملية دمشق المزدوجة للرقاقة. أولًا، تُحفر الأخاديد أو الثقوب في الطبقة العازلة، ثم يُملأ المعدن فيها. بعد الملء، يُزال المعدن الزائد باستخدام آلة النقش بالليزر.
تتضمن الخطوات الرئيسية لعملية الدمشقية المزدوجة ما يلي:
▪ ترسب الطبقة العازلة:
ترسيب طبقة من المواد العازلة، مثل ثاني أكسيد السيليكون (SiO2)، على أشباه الموصلاترقاقة.
▪ الطباعة الضوئية لتحديد النمط:
استخدم الطباعة الضوئية لتحديد نمط الفتحات والخنادق الموجودة على الطبقة العازلة.
▪النقش:
نقل نمط الفتحات والخنادق إلى الطبقة العازلة من خلال عملية النقش الجاف أو الرطب.
▪ ترسب المعادن:
ترسيب المعادن، مثل النحاس (Cu) أو الألومنيوم (Al)، في الفتحات والخنادق لتشكيل وصلات معدنية.
▪ التلميع الكيميائي الميكانيكي:
التلميع الكيميائي الميكانيكي لسطح المعدن لإزالة المعدن الزائد وتسطيح السطح.
بالمقارنة مع عملية تصنيع الوصلات المعدنية التقليدية، تتمتع عملية الدمشقي المزدوجة بالمزايا التالية:
▪خطوات عملية مبسطة:من خلال تشكيل الثقوب والخنادق في نفس خطوة العملية، يتم تقليل خطوات العملية ووقت التصنيع.
▪تحسين كفاءة التصنيع:بفضل تقليل خطوات العملية، يمكن لعملية الدمشقي المزدوجة تحسين كفاءة التصنيع وتقليل تكاليف الإنتاج.
▪تحسين أداء الوصلات المعدنية:يمكن لعملية الدمشقي المزدوج تحقيق توصيلات معدنية أضيق، وبالتالي تحسين تكامل وأداء الدوائر.
▪تقليل السعة والمقاومة الطفيلية:من خلال استخدام المواد العازلة ذات الكفاءة المنخفضة وتحسين بنية الوصلات المعدنية، يمكن تقليل السعة الطفيلية والمقاومة، مما يؤدي إلى تحسين سرعة وأداء استهلاك الطاقة للدوائر.
وقت النشر: ٢٥ نوفمبر ٢٠٢٤