تقنية دمشق المزدوجة هي تقنية تصنيع تُستخدم لإنتاج الوصلات المعدنية في الدوائر المتكاملة. وهي تطوير لعملية دمشق. من خلال تشكيل الثقوب والأخاديد في خطوة واحدة وملئها بالمعدن، يتم تحقيق التصنيع المتكامل للوصلات المعدنية.
لماذا تُسمى دمشق؟
مدينة دمشق هي عاصمة سوريا، وسيوفها مشهورة بحدة صناعتها ودقة صنعها. تتطلب صناعة هذه السيوف عملية ترصيع خاصة: أولاً، يُنقش التصميم المطلوب على سطح فولاذ دمشق، ثم تُرصّع المواد المُجهزة مسبقاً بإحكام في الأخاديد المنقوشة. بعد اكتمال الترصيع، قد يكون السطح غير مستوٍ قليلاً، فيقوم الحرفي بصقله بعناية لضمان نعومته الكاملة. هذه العملية هي النموذج الأولي لعملية دمشق المزدوجة للرقائق. أولاً، تُنقش أخاديد أو ثقوب في الطبقة العازلة، ثم تُملأ بالمعدن. بعد الملء، يُزال المعدن الزائد باستخدام تقنية الصقل الكيميائي الميكانيكي (CMP).
تشمل الخطوات الرئيسية لعملية التطعيم الدمشقي المزدوج ما يلي:
▪ ترسيب الطبقة العازلة:
قم بترسيب طبقة من مادة عازلة، مثل ثاني أكسيد السيليكون (SiO2)، على أشباه الموصلاترقاقة.
▪ الطباعة الضوئية لتحديد النمط:
استخدم تقنية الطباعة الضوئية لتحديد نمط الثقوب والأخاديد على الطبقة العازلة.
▪النقش:
انقل نمط الثقوب والأخاديد إلى الطبقة العازلة من خلال عملية حفر جافة أو رطبة.
▪ ترسيب المعدن:
ترسيب المعادن، مثل النحاس (Cu) أو الألومنيوم (Al)، في الفتحات والخنادق لتشكيل وصلات معدنية.
▪ التلميع الكيميائي الميكانيكي:
التلميع الكيميائي الميكانيكي لسطح المعدن لإزالة المعدن الزائد وتسوية السطح.
بالمقارنة مع عملية تصنيع التوصيلات المعدنية التقليدية، تتميز عملية الداماشن المزدوجة بالمزايا التالية:
▪ خطوات عملية مبسطة:من خلال تشكيل الثقوب والأخاديد في نفس خطوة العملية، يتم تقليل خطوات العملية ووقت التصنيع.
▪ تحسين كفاءة التصنيع:بفضل تقليل خطوات العملية، يمكن لعملية النقش الدمشقي المزدوجة تحسين كفاءة التصنيع وتقليل تكاليف الإنتاج.
▪ تحسين أداء الوصلات المعدنية:يمكن لعملية دمشق المزدوجة تحقيق وصلات معدنية أضيق، مما يؤدي إلى تحسين تكامل وأداء الدوائر.
▪ تقليل السعة والمقاومة الطفيلية:باستخدام مواد عازلة منخفضة الثابت العازل وتحسين بنية التوصيلات المعدنية، يمكن تقليل السعة والمقاومة الطفيلية، مما يحسن من سرعة وأداء استهلاك الطاقة للدوائر.
تاريخ النشر: 25 نوفمبر 2024