O le Dual-Damascene o se tekinolosi fa'agasolo e fa'aaogaina e gaosia ai feso'ota'iga u'amea i totonu o matagaluega tu'ufa'atasi. O se isi atina'e o le fa'agasologa a Damascus. E ala i le faia o pu ma alavai i le taimi e tasi i le la'asaga lava e tasi o le fa'agasologa ma le fa'atumuina i u'amea, ua fa'atinoina ai le gaosiga tu'ufa'atasi o feso'ota'iga u'amea.
Aiseā ua taʻua ai o Tamaseko?
O le aai o Tamaseko o le laumua o Suria, ma e lauiloa pelu Tamaseko i lo latou maai ma le matagofie o le mamanu. E manaʻomia se ituaiga o faiga faʻapipiʻi: muamua, o le mamanu manaʻomia e vaneina i luga o le uʻamea Tamaseko, ma o mea ua uma ona saunia e faʻapipiʻi lelei i totonu o alavai ua vaneina. A maeʻa ona faʻapipiʻi, atonu e le tutusa le laualuga. O le a faʻapala ma le faʻaeteete e le tufuga ina ia mautinoa le lamolemole atoa. Ma o lenei faiga o le faʻataʻitaʻiga lea o le faiga faʻapipiʻi lua a Tamaseko o le chip. Muamua, o alavai poʻo pu e vaneina i le vaega dielectric, ona faʻatumu lea o le uʻamea i totonu. A maeʻa ona faʻatumu, o le a aveese le uʻamea faʻaopoopo e le cmp.
O la'asaga autū o le faiga o le dual damascene e aofia ai:
▪ Fa'aputuga o le vaega dielectric:
Fa'apipi'i se vaega o mea dielectric, e pei o le silicon dioxide (SiO2), i luga o le semiconductorfalaoa manifinifi.
▪ Ata fa'a-ata e fa'amatala ai le mamanu:
Faaaoga le photolithography e faamatala ai le mamanu o vias ma trenches i luga o le dielectric layer.
▪Vā'ei:
Fa'aliliu atu le mamanu o vias ma lua i le vaega dielectric e ala i se faiga eli mago pe susu.
▪ Fa'aputuga o u'amea:
Tuu u'amea, e pei o le kopa (Cu) po'o le alumini (Al), i totonu o alavai ma lua e fai ai ni feso'ota'iga u'amea.
▪ Fa'apalapala fa'akemikolo:
O le fa'apulusaina fa'akemikolo fa'amekanika o le laualuga u'amea e aveese ai le u'amea tele ma fa'amafolafola le laualuga.
Pe a faatusatusa i le faiga masani o le gaosiga o uʻamea fesoʻotaʻi, o le faiga o le dual damascene e iai ona lelei nei:
▪Laasaga faigofie o le faagasologa:O le fausiaina o vias ma lua i le taimi e tasi i le laasaga lava e tasi o le faagasologa, e faaitiitia ai laasaga o le faagasologa ma le taimi o le gaosiga.
▪Fa'aleleia atili le lelei o le gaosiga:ona o le faʻaitiitia o laʻasaga o le faʻagasologa, e mafai e le faʻagasologa o le dual damascene ona faʻaleleia atili le lelei o le gaosiga ma faʻaitiitia ai tau o le gaosiga.
▪Faaleleia le faatinoga o feso'ota'iga u'amea:E mafai e le faiga fa'agasologa o le dual damascene ona ausia ni feso'ota'iga u'amea vaapiapi, ma fa'aleleia atili ai le tu'ufa'atasia ma le fa'atinoga o matagaluega.
▪Fa'aitiitia le gafatia ma le tete'e o parasitic:I le faʻaaogaina o mea low-k dielectric ma le faʻaleleia atili o le fausaga o fesoʻotaʻiga uʻamea, e mafai ona faʻaitiitia le capacitance parasitic ma le teteʻe, faʻaleleia atili ai le saoasaoa ma le faʻaaogaina o le eletise o matagaluega.
Taimi na lafoina ai: 25-Nov-2024