İkiqat Dəməşq texnologiyası, inteqral sxemlərdə metal birləşmələrin istehsalı üçün istifadə olunan bir proses texnologiyasıdır. Bu, Dəməşq prosesinin daha da inkişaf etdirilməsidir. Eyni proses mərhələsində eyni vaxtda deşiklər və yivlər yaratmaqla və onları metal ilə doldurmaqla metal birləşmələrin inteqrasiya olunmuş istehsalı həyata keçirilir.
Niyə Dəməşq adlanır?
Dəməşq şəhəri Suriyanın paytaxtıdır və Dəməşq qılıncları itiliyi və incə teksturası ilə məşhurdur. Bir növ mozaika prosesi tələb olunur: əvvəlcə tələb olunan naxış Dəməşq poladının səthinə həkk olunur və əvvəlcədən hazırlanmış materiallar oyma yivlərə möhkəm şəkildə mozaika olunur. Mozaika tamamlandıqdan sonra səth bir az qeyri-bərabər ola bilər. Usta ümumi hamarlığı təmin etmək üçün onu diqqətlə cilalayacaq. Və bu proses çiplərin ikili Dəməşq prosesinin prototipidir. Əvvəlcə dielektrik təbəqəyə yivlər və ya deşiklər həkk olunur və sonra onlara metal doldurulur. Doldurulduqdan sonra artıq metal cmp ilə çıxarılacaq.
İkiqat Dəməşq prosesinin əsas mərhələlərinə aşağıdakılar daxildir:
▪ Dielektrik təbəqənin çökməsi:
Yarımkeçirici üzərində silikon dioksid (SiO2) kimi dielektrik material təbəqəsi yerləşdirinvafli.
▪ Nümunəni müəyyən etmək üçün fotolitoqrafiya:
Dielektrik təbəqədəki viyaların və xəndəklərin naxışını təyin etmək üçün fotolitoqrafiyadan istifadə edin.
▪Oyma:
Quru və ya yaş aşındırma prosesi vasitəsilə viaların və xəndəklərin naxışını dielektrik təbəqəyə köçürün.
▪ Metalın çökməsi:
Metal birləşmələri yaratmaq üçün mis (Cu) və ya alüminium (Al) kimi metalları keçiricilərə və xəndəklərə yerləşdirin.
▪ Kimyəvi mexaniki cilalama:
Artıq metalı təmizləmək və səthi hamarlamaq üçün metal səthinin kimyəvi mexaniki cilalanması.
Ənənəvi metal birləşdirici istehsal prosesi ilə müqayisədə ikili damas prosesi aşağıdakı üstünlüklərə malikdir:
▪Sadələşdirilmiş proses addımları:Eyni proses mərhələsində eyni vaxtda vias və xəndəklər yaratmaqla, proses mərhələləri və istehsal müddəti azalır.
▪İstehsal səmərəliliyinin artırılması:Proses addımlarının azalması səbəbindən ikili damask prosesi istehsal səmərəliliyini artıra və istehsal xərclərini azalda bilər.
▪Metal birləşmələrin işini yaxşılaşdırın:İkiqat Dəməşq prosesi daha dar metal birləşmələrinə nail ola bilər və bununla da dövrələrin inteqrasiyasını və performansını yaxşılaşdırır.
▪Parazit tutumunu və müqavimətini azaldın:Aşağı k dielektrik materiallardan istifadə etməklə və metal birləşmələrin strukturunu optimallaşdırmaqla parazit tutumu və müqaviməti azaltmaq olar, bu da dövrələrin sürətini və enerji istehlakını yaxşılaşdırır.
Yazı vaxtı: 25 Noyabr 2024