सीएमपी का समतलीकरण तंत्र क्या है?

डुअल-डेमस्किन एक प्रक्रिया प्रौद्योगिकी है जिसका उपयोग एकीकृत सर्किट में धातु इंटरकनेक्ट बनाने के लिए किया जाता है। यह दमिश्क प्रक्रिया का एक और विकास है। एक ही प्रक्रिया चरण में एक ही समय में छेद और खांचे बनाकर और उन्हें धातु से भरकर, धातु इंटरकनेक्ट का एकीकृत निर्माण साकार किया जाता है।

इसे दमिश्क क्यों कहा जाता है?

दमिश्क शहर सीरिया की राजधानी है, और दमिश्क तलवारें अपनी तीक्ष्णता और उत्तम बनावट के लिए प्रसिद्ध हैं। एक प्रकार की जड़ाई प्रक्रिया की आवश्यकता होती है: सबसे पहले, दमिश्क स्टील की सतह पर आवश्यक पैटर्न उकेरा जाता है, और पहले से तैयार सामग्री को उकेरे गए खांचे में कसकर जड़ा जाता है। जड़ाई पूरी होने के बाद, सतह थोड़ी असमान हो सकती है। शिल्पकार समग्र चिकनाई सुनिश्चित करने के लिए इसे सावधानीपूर्वक पॉलिश करेगा। और यह प्रक्रिया चिप की दोहरी दमिश्क प्रक्रिया का प्रोटोटाइप है। सबसे पहले, ढांकता हुआ परत में खांचे या छेद उकेरे जाते हैं, और फिर उनमें धातु भरी जाती है। भरने के बाद, अतिरिक्त धातु को सीएमपी द्वारा हटा दिया जाएगा।

दोहरी दमिश्क प्रक्रिया के मुख्य चरण निम्नलिखित हैं:

▪ परावैद्युत परत का जमाव:

अर्धचालक पर सिलिकॉन डाइऑक्साइड (SiO2) जैसे परावैद्युत पदार्थ की एक परत जमा करेंवफ़र.

▪ पैटर्न को परिभाषित करने के लिए फोटोलिथोग्राफी:

परावैद्युत परत पर विआस और खाइयों के पैटर्न को परिभाषित करने के लिए फोटोलिथोग्राफी का उपयोग करें।

▪एचिंग:

शुष्क या गीली नक़्काशी प्रक्रिया के माध्यम से विआस और खाइयों के पैटर्न को परावैद्युत परत पर स्थानांतरित करें।

▪ धातु का जमाव:

धातु के अंतर्संबंध बनाने के लिए, तांबा (Cu) या एल्युमीनियम (Al) जैसी धातुओं को मार्ग और खाइयों में जमा करें।

▪ रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग:

अतिरिक्त धातु को हटाने और सतह को समतल करने के लिए धातु की सतह की रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग।

पारंपरिक धातु इंटरकनेक्ट विनिर्माण प्रक्रिया की तुलना में, दोहरी दमिश्क प्रक्रिया के निम्नलिखित लाभ हैं:

▪सरलीकृत प्रक्रिया चरण:एक ही प्रक्रिया चरण में एक साथ मार्ग और खाइयां बनाने से, प्रक्रिया चरण और विनिर्माण समय कम हो जाता है।

▪बेहतर विनिर्माण दक्षता:प्रक्रिया चरणों में कमी के कारण, दोहरी दमिश्क प्रक्रिया विनिर्माण दक्षता में सुधार कर सकती है और उत्पादन लागत को कम कर सकती है।

▪धातु इंटरकनेक्ट के प्रदर्शन में सुधार:दोहरी दमिश्क प्रक्रिया से संकीर्ण धातु अंतर्संबंध प्राप्त किया जा सकता है, जिससे सर्किटों के एकीकरण और प्रदर्शन में सुधार होता है।

▪परजीवी धारिता और प्रतिरोध को कम करें:निम्न-के परावैद्युत पदार्थों का उपयोग करके और धातु अंतर्संबंधों की संरचना को अनुकूलित करके, परजीवी धारिता और प्रतिरोध को कम किया जा सकता है, जिससे सर्किटों की गति और बिजली खपत प्रदर्शन में सुधार हो सकता है।