ଡୁଆଲ୍-ଡାମାସିନ୍ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟରେ ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ଏହା ଡାମାସିସ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଆହୁରି ବିକାଶ। ସମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପରେ ଏକା ସମୟରେ ଗାତ ଏବଂ ଖାଲ ମାଧ୍ୟମରେ ଗଠନ କରି ଏବଂ ସେଗୁଡ଼ିକୁ ଧାତୁରେ ପୂରଣ କରି, ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗର ସମନ୍ୱିତ ଉତ୍ପାଦନ ସାକାର ହୁଏ।
ଏହାକୁ କାହିଁକି ଡାମାସ୍କସ୍ କୁହାଯାଏ?
ଡାମାସ୍କସ୍ ସହର ହେଉଛି ସିରିଆର ରାଜଧାନୀ, ଏବଂ ଡାମାସ୍କସ୍ ଖଣ୍ଡାଗୁଡ଼ିକ ସେମାନଙ୍କର ତୀକ୍ଷ୍ଣତା ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗଠନ ପାଇଁ ପ୍ରସିଦ୍ଧ। ଏକ ପ୍ରକାରର ଜଡିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ: ପ୍ରଥମେ, ଆବଶ୍ୟକୀୟ ନମୁନା ଡାମାସ୍କସ୍ ଷ୍ଟିଲ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଖୋଦିତ ହୁଏ, ଏବଂ ପୂର୍ବରୁ ପ୍ରସ୍ତୁତ ସାମଗ୍ରୀଗୁଡ଼ିକୁ ଖୋଦିତ ଖାଲଗୁଡ଼ିକରେ କଡ଼ାକଡ଼ି ଭାବରେ ଖୋଦିତ କରାଯାଏ। ଜଡିତ ସମାପ୍ତ ହେବା ପରେ, ପୃଷ୍ଠ ଟିକେ ଅସମାନ ହୋଇପାରେ। ସାମଗ୍ରିକ ମସୃଣତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ କାରିଗର ଏହାକୁ ଯତ୍ନର ସହିତ ପଲିସ୍ କରିବେ। ଏବଂ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଚିପ୍ ର ଡୁଆଲ୍ ଡାମାସ୍କସ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ପ୍ରୋଟୋଟାଇପ୍। ପ୍ରଥମେ, ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରରେ ଗୃଭ କିମ୍ବା ଗାତ ଖୋଦିତ ହୁଏ, ଏବଂ ତାପରେ ସେଥିରେ ଧାତୁ ପୂରଣ କରାଯାଏ। ପୂରଣ କରିବା ପରେ, cmp ଦ୍ୱାରା ଅତିରିକ୍ତ ଧାତୁ ଅପସାରିତ ହେବ।
ଡୁଆଲ୍ ଡାମାସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ମୁଖ୍ୟ ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
▪ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରର ଜମା:
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପରେ ସିଲିକନ୍ ଡାଇଅକ୍ସାଇଡ୍ (SiO2) ଭଳି ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସାମଗ୍ରୀର ଏକ ସ୍ତର ଜମା କରନ୍ତୁୱାଫର.
▪ ପ୍ୟାଟର୍ନକୁ ପରିଭାଷିତ କରିବା ପାଇଁ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି:
ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତର ଉପରେ ଭାୟା ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚର ଢାଞ୍ଚା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରିବା ପାଇଁ ଫଟୋଲିଥୋଗ୍ରାଫି ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ।
▪ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍:
ଶୁଖିଲା କିମ୍ବା ଓଦା ଏଚିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ଭିୟା ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚର ଢାଞ୍ଚାକୁ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତରକୁ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରନ୍ତୁ।
▪ ଧାତୁର ଜମା:
ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଗଠନ କରିବା ପାଇଁ ତମ୍ବା (Cu) କିମ୍ବା ଆଲୁମିନିୟମ (Al) ପରି ଧାତୁକୁ ଭିୟା ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚରେ ଜମା କରନ୍ତୁ।
▪ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ:
ଧାତୁ ପୃଷ୍ଠକୁ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ କରିବା ଦ୍ୱାରା ଅତିରିକ୍ତ ଧାତୁ ବାହାର କରି ପୃଷ୍ଠକୁ ସମତଳ କରାଯାଏ।
ପାରମ୍ପରିକ ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ତୁଳନାରେ, ଡୁଆଲ୍ ଡାମାସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ନିମ୍ନଲିଖିତ ସୁବିଧା ଅଛି:
▪ସରଳୀକୃତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପଗୁଡ଼ିକ:ସମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପରେ ଏକକାଳୀନ ଭାୟା ଏବଂ ଟ୍ରେଞ୍ଚ ଗଠନ କରିବା ଦ୍ୱାରା, ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ସମୟ ହ୍ରାସ ପାଏ।
▪ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା:ପ୍ରକ୍ରିୟା ପଦକ୍ଷେପ ହ୍ରାସ ଯୋଗୁଁ, ଡୁଆଲ୍ ଡାମାସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ।
▪ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉନ୍ନତ କରିବା:ଡୁଆଲ୍ ଡାମାସିନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ ହାସଲ କରିପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ସର୍କିଟର ସମନ୍ୱୟ ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଉନ୍ନତ ହୋଇପାରିବ।
▪ପରଜୀବୀ କ୍ଷମତା ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ:କମ୍-k ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସାମଗ୍ରୀ ବ୍ୟବହାର କରି ଏବଂ ଧାତୁ ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗଗୁଡ଼ିକର ଗଠନକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରି, ପରଜୀବୀ କାପାସିଟାନ୍ସ ଏବଂ ପ୍ରତିରୋଧକୁ ହ୍ରାସ କରାଯାଇପାରିବ, ସର୍କିଟର ଗତି ଏବଂ ଶକ୍ତି ବ୍ୟବହାର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରାଯାଇପାରିବ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ନଭେମ୍ବର-୨୫-୨୦୨୪