Dual-Damascene iku teknologi proses sing digunakake kanggo nggawe interkoneksi logam ing sirkuit terpadu. Iki minangka pangembangan luwih lanjut saka proses Damaskus. Kanthi mbentuk bolongan lan alur bebarengan ing langkah proses sing padha lan ngisi karo logam, manufaktur interkoneksi logam sing terintegrasi bisa diwujudake.
Yagene diarani Damaskus?
Kutha Damaskus minangka ibukutha Suriah, lan pedhang Damaskus misuwur amarga ketajaman lan tekstur sing apik banget. Dibutuhake proses tatahan: pisanan, pola sing dibutuhake diukir ing permukaan baja Damaskus, lan bahan sing wis disiapake dipasang kanthi rapet ing alur sing diukir. Sawise tatahan rampung, permukaane bisa uga rada ora rata. Pengrajin bakal ngalusake kanthi ati-ati kanggo njamin kehalusan sakabèhé. Lan proses iki minangka prototipe saka proses chip Damaskus ganda. Kapisan, alur utawa bolongan diukir ing lapisan dielektrik, banjur logam diisi ing njero. Sawise diisi, logam sing berlebihan bakal dicopot nganggo cmp.
Langkah-langkah utama saka proses damaskus ganda kalebu:
▪ Deposisi lapisan dielektrik:
Nyelehake lapisan bahan dielektrik, kayata silikon dioksida (SiO2), ing semikonduktorwafer.
▪ Fotolitografi kanggo nemtokake pola:
Gunakna fotolitografi kanggo nemtokaké pola vias lan trenches ing lapisan dielektrik.
▪Ukiran:
Transfer pola vias lan parit menyang lapisan dielektrik liwat proses etsa garing utawa teles.
▪ Deposisi logam:
Nyelehake logam, kayata tembaga (Cu) utawa aluminium (Al), ing vias lan parit kanggo mbentuk sambungan logam.
▪ Polesan mekanik kimiawi:
Polesan mekanik kimiawi ing permukaan logam kanggo mbusak logam sing berlebihan lan ngratakake permukaan kasebut.
Dibandhingake karo proses manufaktur interkoneksi logam tradisional, proses damaskus ganda nduweni kaluwihan ing ngisor iki:
▪Langkah-langkah proses sing disederhanakake:kanthi mbentuk vias lan parit bebarengan ing langkah proses sing padha, langkah-langkah proses lan wektu manufaktur bisa dikurangi.
▪Efisiensi manufaktur sing luwih apik:Amarga pengurangan langkah-langkah proses, proses damaskus ganda bisa ningkatake efisiensi manufaktur lan nyuda biaya produksi.
▪Ningkatake kinerja interkoneksi logam:Proses damaskus ganda bisa entuk interkoneksi logam sing luwih sempit, saengga ningkatake integrasi lan kinerja sirkuit.
▪Ngurangi kapasitansi lan resistensi parasit:Kanthi nggunakake bahan dielektrik k-rendah lan ngoptimalake struktur interkoneksi logam, kapasitansi parasit lan resistensi bisa dikurangi, saengga ningkatake kecepatan lan kinerja konsumsi daya sirkuit.
Wektu kiriman: 25 Nov-2024