Ceramic Wafer Heater AlN Alumina Heating Element

Ceramic Wafer Heater AlN Alumina Heating Element
Sa paghimo sa semiconductor, ang mga wafer kinahanglan nga iproseso sa lainlaing mga proseso, sama sa thin film deposition, etching, ug uban pa Sa kini nga mga link, ang mga wafer kinahanglan nga ipainit sa usa ka piho nga temperatura, ug adunay higpit nga mga kinahanglanon alang sa temperatura, tungod kay ang pagkaparehas sa temperatura adunay hinungdanon nga epekto sa abot sa produkto, ug ang mga sangkap sa pagpainit kinahanglanon.

Ceramic heaterdirekta nga gigamit sa proseso nga lawak ug direkta nga kontak sa ostiya. Dili lang nila dad-on ang wafer, apan gisiguro usab nga ang wafer makakuha usa ka lig-on ug parehas nga temperatura sa proseso. Sila ang mga yawe nga sangkap sa semiconductor thin film deposition equipment!

Ang ceramic heater naglakip sa usa ka seramik nga base nga nagsuporta sa wafer ug usa ka cylindrical nga suporta nga lawas sa likod nga bahin nga nagsuporta niini. Gawas pa sa elemento sa pagsukol (layer sa pagpainit) alang sa pagpainit, adunay usab mga electrodes sa frequency sa radyo (layer sa RF) sa sulod o sa ibabaw sa seramiko nga base. Aron makab-ot ang paspas nga pagpainit ug pagpabugnaw, ang gibag-on sa seramik nga base kinahanglan nga manipis, apan ang sobra ka nipis makapakunhod usab sa pagkagahi.

Ang suporta sa ceramic heater kasagarang ginama sa seramik nga materyal nga adunay thermal expansion coefficient nga susama sa base. Ang heater nagsagop sa usa ka talagsaon nga istruktura sa usa ka shaft joint bottom aron mapanalipdan ang mga terminal ug mga wire gikan sa mga epekto sa plasma ug corrosive nga kemikal nga mga gas. Ang suporta nasangkapan sa usa ka heat transfer gas inlet ug outlet pipe aron masiguro ang parehas nga temperatura sa heater. Ang base ug ang suporta kay chemically bonded sa usa ka bonding layer.

Ang ceramic heater mahimong gama sa mga seramiko sama sa aluminum nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), ug alumina (Al2O3). Taliwala kanila, ang AlN mao ang labing kaayo nga kapilian alang sa mga ceramic heaters. Kung itandi sa ubang mga materyales, ang AlN ceramic sa VET Energy adunay mga mosunod nga mga kinaiya:
(1) Maayong thermal conductivity;
(2) Gipares nga thermal expansion coefficient sa semiconductor silicon nga mga materyales;
(3) Maayo nga mekanikal nga mga kabtangan, maayo kaayo nga pagsukol sa pagsul-ob, ug komprehensibo nga mekanikal nga mga kabtangan mas maayo kaysa beryllium oxide ug katumbas sa aluminum oxide;
(4) Maayo kaayo nga komprehensibo nga electrical properties, maayo kaayo nga electrical insulation ug ubos nga dielectric nga pagkawala;
(5) Dili makahilo ug mahigalaon sa kinaiyahan.