Elemento ng Pag-init ng Ceramic Wafer na AlN Alumina

Elemento ng Pag-init ng Ceramic Wafer na AlN Alumina
Sa paggawa ng semiconductor, ang mga wafer ay kailangang iproseso sa iba't ibang proseso, tulad ng thin film deposition, etching, atbp. Sa mga link na ito, ang mga wafer ay kailangang painitin sa isang tiyak na temperatura, at may mga mahigpit na kinakailangan para sa temperatura, dahil ang pagkakapareho ng temperatura ay may napakahalagang epekto sa ani ng produkto, at ang mga bahagi ng pag-init ay lubhang kailangan.

Pampainit na seramikoay direktang inilalapat sa silid ng proseso at direktang nakadikit sa wafer. Hindi lamang nila dinadala ang wafer, kundi tinitiyak din nila na ang wafer ay nakakakuha ng matatag at pare-parehong temperatura ng proseso. Ang mga ito ay pangunahing bahagi sa kagamitan sa semiconductor thin film deposition!

Ang ceramic heater ay may kasamang ceramic base na sumusuporta sa wafer at isang cylindrical support body sa likurang bahagi na sumusuporta dito. Bukod sa resistance element (heating layer) para sa pagpapainit, mayroon ding mga radio frequency electrodes (RF layer) sa loob o sa ibabaw ng ceramic base. Upang makamit ang mabilis na pag-init at paglamig, dapat manipis ang kapal ng ceramic base, ngunit ang sobrang manipis ay makakabawas din sa tigas.

Ang suporta ng ceramic heater ay karaniwang gawa sa ceramic material na may thermal expansion coefficient na katulad ng sa base. Ang heater ay gumagamit ng kakaibang istruktura ng shaft joint bottom upang protektahan ang mga terminal at wire mula sa mga epekto ng plasma at mga kinakaing kemikal na gas. Ang suporta ay nilagyan ng heat transfer gas inlet at outlet pipe upang matiyak ang pare-parehong temperatura ng heater. Ang base at ang suporta ay kemikal na nakadikit gamit ang isang bonding layer.

Ang ceramic heater ay maaaring gawa sa mga seramika tulad ng aluminum nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), at alumina (Al2O3). Kabilang sa mga ito, ang AlN ang pinakamahusay na pagpipilian para sa mga ceramic heater. Kung ikukumpara sa iba pang mga materyales, ang AlN ceramic ng VET Energy ay may mga sumusunod na katangian:
(1) Mahusay na kondaktibiti ng init;
(2) Itinugma ang koepisyent ng thermal expansion sa mga materyales na semiconductor silicon;
(3) Ang mahusay na mekanikal na katangian, mahusay na resistensya sa pagkasira, at komprehensibong mekanikal na katangian ay mas mahusay kaysa sa beryllium oxide at katumbas ng aluminum oxide;
(4) Napakahusay na komprehensibong mga katangiang elektrikal, mahusay na pagkakabukod ng kuryente at mababang dielectric loss;
(5) Hindi nakalalason at ligtas sa kapaligiran.