Ceramic Wafer Heater AlN Alumina Heating Element

Ceramic Wafer Heater AlN Alumina Heating Element
Sa paggawa ng semiconductor, ang mga wafer ay kailangang iproseso sa iba't ibang proseso, tulad ng manipis na film deposition, etching, atbp. Sa mga link na ito, ang mga wafer ay kailangang pinainit sa isang tiyak na temperatura, at may mga mahigpit na kinakailangan para sa temperatura, dahil ang pagkakapareho ng temperatura ay may napakahalagang epekto sa ani ng produkto, at ang mga bahagi ng pag-init ay kailangang-kailangan.

Ceramic heateray direktang inilapat sa silid ng proseso at direktang nakikipag-ugnayan sa wafer. Hindi lamang nila dinadala ang wafer, ngunit tinitiyak din na ang wafer ay nakakakuha ng isang matatag at pare-parehong temperatura ng proseso. Ang mga ito ay mga pangunahing bahagi sa semiconductor thin film deposition equipment!

Ang ceramic heater ay may kasamang ceramic base na sumusuporta sa wafer at isang cylindrical support body sa likod na bahagi na sumusuporta dito. Bilang karagdagan sa elemento ng paglaban (patong ng pag-init) para sa pagpainit, mayroon ding mga electrodes ng dalas ng radyo (layer ng RF) sa loob o sa ibabaw ng ceramic base. Upang makamit ang mabilis na pag-init at paglamig, ang kapal ng ceramic base ay dapat na manipis, ngunit masyadong manipis ay magbabawas din ng katigasan.

Ang suporta ng ceramic heater ay karaniwang gawa sa ceramic material na may thermal expansion coefficient na katulad ng sa base. Gumagamit ang heater ng isang natatanging istraktura ng isang shaft joint bottom upang protektahan ang mga terminal at wire mula sa mga epekto ng plasma at mga corrosive na kemikal na gas. Ang suporta ay nilagyan ng heat transfer gas inlet at outlet pipe upang matiyak ang pare-parehong temperatura ng heater. Ang base at ang suporta ay chemically bonded na may bonding layer.

Ang ceramic heater ay maaaring gawin ng mga ceramics tulad ng aluminum nitride (AlN), silicon nitride (Si3N4), at alumina (Al2O3). Kabilang sa mga ito, ang AlN ay ang pinakamahusay na pagpipilian para sa mga ceramic heaters. Kung ikukumpara sa iba pang mga materyales, ang AlN ceramic ng VET Energy ay may mga sumusunod na katangian:
(1) Magandang thermal conductivity;
(2) Naitugmang thermal expansion coefficient sa semiconductor silicon na materyales;
(3) Ang magagandang mekanikal na katangian, mahusay na paglaban sa pagsusuot, at komprehensibong mekanikal na mga katangian ay mas mahusay kaysa sa beryllium oxide at katumbas ng aluminum oxide;
(4) Napakahusay na komprehensibong electrical properties, mahusay na electrical insulation at mababang dielectric loss;
(5) Non-toxic at environment friendly.