Soos hierbo getoon, is 'n tipiese
Die eerste helfte:
▪ Verhittingselement (verhittingsspoel):
geleë rondom die oondbuis, gewoonlik gemaak van weerstandsdrade, wat gebruik word om die binnekant van die oondbuis te verhit.
▪ Kwartsbuis:
Die kern van 'n warm oksidasie-oond, gemaak van hoë-suiwerheid kwarts wat hoë temperature kan weerstaan en chemies inert bly.
▪ Gastoevoer:
Dit is aan die bokant of kant van die oondbuis geleë en word gebruik om suurstof of ander gasse na die binnekant van die oondbuis te vervoer.
▪ SS Flens:
komponente wat kwartsbuise en gaslyne verbind, wat die digtheid en stabiliteit van die verbinding verseker.
▪ Gastoevoerlyne:
Pype wat die MFC aan die gastoevoerpoort vir gasoordrag verbind.
▪ MFC (Massavloeibeheerder):
'n Toestel wat die vloei van gas binne 'n kwartsbuis beheer om die hoeveelheid gas wat benodig word, presies te reguleer.
▪ Ventilasie:
Word gebruik om die uitlaatgas van binne die oondbuis na buite die toerusting te ontlucht.
Onderste deel:
▪ Silikonwafels in houer:
Silikonwafers word in 'n spesiale houer gehuisves om eenvormige hitte tydens oksidasie te verseker.
▪ Wafelhouer:
Word gebruik om die silikonwafel vas te hou en te verseker dat die silikonwafel stabiel bly tydens die proses.
▪ Voetstuk:
'n Struktuur wat 'n silikonwafel hou. Houer, gewoonlik gemaak van 'n hoëtemperatuurbestande materiaal.
▪ Hysbak:
Word gebruik om wafelhouers in en uit kwartsbuise te lig vir die outomatiese laai en aflaai van silikonwafels.
▪ Wafer-oordragrobot:
Dit is aan die kant van die oondbuistoestel geleë en word gebruik om die silikonwafel outomaties uit die boks te verwyder en in die oondbuis te plaas, of dit na verwerking te verwyder.
▪ Kassetbergingskarrousel:
'n Kassetbergingskarrousel word gebruik om 'n boks met silikonwafers te bêre en kan gedraai word vir robottoegang.
▪ Waferkasset:
'n Waferkasset word gebruik om die silikonwafers wat verwerk moet word, te stoor en oor te dra.
Plasingstyd: 22 Apr-2024