Amint fentebb látható, egy tipikus
Az első félidő:
▪ Fűtőelem (fűtőtekercs):
a kemencecső körül elhelyezkedő, általában ellenálláshuzalokból készült, a kemencecső belsejének melegítésére használt.
▪ Kvarccső:
Egy forró oxidációs kemence magja, nagy tisztaságú kvarcból készül, amely ellenáll a magas hőmérsékletnek és kémiailag inert marad.
▪ Gázellátás:
A kemencecső tetején vagy oldalán található, és oxigént vagy más gázokat szállít a kemencecső belsejébe.
▪ SS karima:
kvarccsöveket és gázvezetékeket összekötő alkatrészek, amelyek biztosítják a csatlakozás tömörségét és stabilitását.
▪ Gázbetápláló vezetékek:
Csövek, amelyek az MFC-t a gázellátó nyíláshoz kötik a gázszállításhoz.
▪ MFC (tömegáram-szabályozó):
Egy olyan eszköz, amely a kvarccsőben lévő gáz áramlását szabályozza a szükséges gázmennyiség pontos szabályozása érdekében.
▪ Szellőzőnyílás:
A kipufogógáznak a kemencecsövön belülről a berendezésen kívülre történő elvezetésére szolgál.
Alsó rész:
▪ Szilícium ostyák a tartóban:
A szilíciumlapkákat egy speciális tartóban helyezik el, hogy az oxidáció során egyenletes hőeloszlást biztosítsanak.
▪ Ostyatartó:
A szilíciumlap rögzítésére és annak biztosítására szolgál, hogy a szilíciumlap a folyamat során stabil maradjon.
▪ Talapzat:
Egy szilícium ostyatartót tartó szerkezet, amely általában magas hőmérsékletnek ellenálló anyagból készül.
▪ Lift:
A szilícium-ostyák automatikus be- és kirakodásához ostyatartók kvarccsövekbe való be- és kiemelésére szolgál.
▪ Ostyaátvivő robot:
A kemencecső-eszköz oldalán található, és arra szolgál, hogy automatikusan eltávolítsa a szilíciumlapkát a dobozból és a kemencecsőbe helyezze, vagy a feldolgozás után eltávolítsa.
▪ Kazettatároló forgózsámoly:
A kazettatároló forgószalag szilíciumlapkákat tartalmazó doboz tárolására szolgál, és a robot hozzáférése érdekében elforgatható.
▪ Ostya kazetta:
Az ostya kazetta a feldolgozandó szilícium ostyák tárolására és szállítására szolgál.
Közzététel ideje: 2024. április 22.