Như hình trên, đây là một ví dụ điển hình.
Nửa đầu:
▪ Bộ phận gia nhiệt (cuộn dây gia nhiệt):
Nằm xung quanh ống lò nung, thường được làm bằng dây điện trở, dùng để làm nóng bên trong ống lò nung.
▪ Ống thạch anh:
Lõi của lò oxy hóa nóng, được làm bằng thạch anh tinh khiết cao, có khả năng chịu được nhiệt độ cao và vẫn trơ về mặt hóa học.
▪ Cấp khí:
Nằm ở phía trên hoặc bên cạnh ống lò, nó được sử dụng để vận chuyển oxy hoặc các khí khác vào bên trong ống lò.
▪ Mặt bích SS:
Các bộ phận kết nối ống thạch anh và đường dẫn khí, đảm bảo độ kín và ổn định của mối nối.
▪ Đường dẫn khí:
Các đường ống kết nối MFC với cổng cấp khí để truyền dẫn khí.
▪ Bộ điều khiển lưu lượng khối (MFC):
Một thiết bị điều khiển dòng khí bên trong ống thạch anh để điều chỉnh chính xác lượng khí cần thiết.
▪ Lỗ thông hơi:
Dùng để dẫn khí thải từ bên trong ống lò ra bên ngoài thiết bị.
Phần dưới:
▪ Tấm wafer silicon trong giá đỡ:
Các tấm silicon được đặt trong một giá đỡ đặc biệt để đảm bảo nhiệt độ đồng đều trong quá trình oxy hóa.
▪ Giá đỡ wafer:
Dùng để giữ cố định tấm silicon và đảm bảo tấm silicon luôn ổn định trong suốt quá trình.
▪ Bệ đỡ:
Cấu trúc dùng để giữ một tấm wafer silicon, thường được làm bằng vật liệu chịu nhiệt cao.
▪ Thang máy:
Được sử dụng để nâng các giá đỡ wafer vào và ra khỏi ống thạch anh để tự động nạp và dỡ wafer silicon.
▪ Robot chuyển wafer:
Nằm ở bên cạnh thiết bị ống lò nung, nó được sử dụng để tự động lấy tấm silicon ra khỏi hộp và đặt vào ống lò nung, hoặc lấy ra sau khi xử lý.
▪ Giá đỡ băng cassette dạng xoay:
Giá đỡ hộp chứa dạng băng cassette được sử dụng để lưu trữ hộp đựng các tấm silicon và có thể xoay để robot dễ dàng tiếp cận.
▪ Khay đĩa wafer:
Khay chứa tấm bán dẫn được sử dụng để lưu trữ và vận chuyển các tấm bán dẫn silicon cần được xử lý.
Thời gian đăng bài: 22/04/2024