Дээр үзүүлсэнчлэн, энэ нь ердийн зүйл юм
Эхний хагас:
▪ Халаалтын элемент (халаалтын ороомог):
зуухны хоолойн эргэн тойронд байрладаг бөгөөд ихэвчлэн эсэргүүцлийн утсаар хийгдсэн бөгөөд зуухны хоолойн дотор талыг халаахад ашигладаг.
▪ Кварц хоолой:
Өндөр температурыг тэсвэрлэх чадвартай, химийн хувьд идэвхгүй хэвээр байх өндөр цэвэршилттэй кварцаар хийгдсэн халуун исэлдүүлэх зуухны цөм.
▪ Хийн тэжээл:
Зуухны хоолойн дээд эсвэл хажуу талд байрладаг бөгөөд хүчилтөрөгч эсвэл бусад хийг зуухны хоолойн дотор талд зөөвөрлөхөд ашигладаг.
▪ SS фланц:
кварц хоолой болон хийн шугамыг холбосон эд ангиуд нь холболтын нягт ба тогтвортой байдлыг хангадаг.
▪ Хийн тэжээлийн шугам:
Хий дамжуулах зориулалттай MFC-ийг хийн хангамжийн порттой холбодог хоолойнууд.
▪ MFC (Масс урсгалын хянагч):
Кварц хоолой доторх хийн урсгалыг хянаж, шаардлагатай хийн хэмжээг нарийн тохируулдаг төхөөрөмж.
▪ Агааржуулалтын нүх:
Зуухны хоолойн доторх яндангийн хийг тоног төхөөрөмжийн гадна тал руу гаргахад ашигладаг.
Доод хэсэг:
▪ Бариул дахь цахиурын вафли:
Исэлдэлтийн үед жигд дулааныг хангахын тулд цахиурын вафлигуудыг тусгай эзэмшигчид байрлуулдаг.
▪ Ваферийн суурь:
Цахиурын хавтанг барих, үйл явцын явцад цахиурын хавтанг тогтвортой байлгахад ашигладаг.
▪ Тавцан:
Цахиурын хавтанг барьдаг бүтэц, ихэвчлэн өндөр температурт тэсвэртэй материалаар хийгдсэн бариул.
▪ Цахилгаан шат:
Цахиурын вафлийг автоматаар ачих, буулгах зорилгоор вафлийн суурьтай хавтанг кварц хоолой руу өргөх болон гаргахад ашигладаг.
▪ Вафер дамжуулах робот:
зуухны хоолойн төхөөрөмжийн хажуу талд байрладаг бөгөөд энэ нь цахиурын хавтанг хайрцагнаас автоматаар гаргаж аваад зуухны хоолойд байрлуулах эсвэл боловсруулсны дараа зайлуулахад ашиглагддаг.
▪ Кассет хадгалах тойрог:
Кассет хадгалах тойрог нь цахиурын вафли агуулсан хайрцгийг хадгалахад ашиглагддаг бөгөөд роботуудад нэвтрэхийн тулд эргүүлж болно.
▪ Ваферийн кассет:
Вафлины кассетыг боловсруулах цахиурын вафлиг хадгалах, шилжүүлэхэд ашигладаг.
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 4-р сарын 22