Вътрешната структура на оборудването на пещните тръби е обяснена подробно

Както е показано по-горе, е типично

Първата половина:

▪ Нагревателен елемент (нагревателна серпентина):

разположени около тръбата на пещта, обикновено изработени от съпротивителни проводници, използвани за нагряване на вътрешността на тръбата на пещта.

▪ Кварцова тръба:

Ядрото на пещ за горещо окисление, изработено от високочист кварц, който може да издържи на високи температури и да остане химически инертен.

▪ Захранване с газ:

Разположен в горната или страничната част на тръбата на пещта, той се използва за транспортиране на кислород или други газове до вътрешността на тръбата на пещта.

▪ Фланец от неръждаема стомана:

компоненти, които свързват кварцови тръби и газови линии, осигуряващи херметичност и стабилност на връзката.

▪ Газопроводи:

Тръби, които свързват MFC с газоподаващия порт за пренос на газ.

▪ MFC (Регулатор на масовия поток):

Устройство, което контролира потока на газ вътре в кварцова тръба, за да регулира прецизно необходимото количество газ.

▪ Вентилация:

Използва се за отвеждане на отработените газове от вътрешността на тръбата на пещта към външната страна на оборудването.

Долна част:

▪ Силиконови пластини в държач:

Силициевите пластини се помещават в специален държач, за да се осигури равномерно нагряване по време на окисляване.

▪ Държач за вафли:

Използва се за задържане на силициевата пластина и за осигуряване на нейната стабилност по време на процеса.

▪ Пиедестал:

Структура, която държи държач за силициева пластина, обикновено изработена от материал, устойчив на висока температура.

▪ Асансьор:

Използва се за повдигане на държачи за пластини в и извън кварцови тръби за автоматично зареждане и разтоварване на силициеви пластини.

▪ Робот за трансфер на пластини:

Разположен отстрани на устройството за пещна тръба, той се използва за автоматично изваждане на силициевата пластина от кутията и поставянето ѝ в пещната тръба или за отстраняването ѝ след обработка.