Com s'ha mostrat anteriorment, és un típic
La primera meitat:
▪ Element calefactor (serpentina calefactora):
situat al voltant del tub del forn, generalment fet de fils de resistència, utilitzat per escalfar l'interior del tub del forn.
▪ Tub de quars:
El nucli d'un forn d'oxidació calenta, fet de quars d'alta puresa que pot suportar altes temperatures i romandre químicament inert.
▪ Alimentació de gas:
Situat a la part superior o lateral del tub del forn, s'utilitza per transportar oxigen o altres gasos a l'interior del tub del forn.
▪ Brida d'acer inoxidable:
components que connecten tubs de quars i línies de gas, garantint l'estanquitat i l'estabilitat de la connexió.
▪ Línies d'alimentació de gas:
Canonades que connecten l'MFC al port de subministrament de gas per a la transmissió de gas.
▪ MFC (Controlador de flux màssic):
Un dispositiu que controla el flux de gas dins d'un tub de quars per regular amb precisió la quantitat de gas necessària.
▪ Ventilació:
S'utilitza per ventilar els gasos d'escapament de l'interior del tub del forn cap a l'exterior de l'equip.
Part inferior:
▪ Oblies de silici en suport:
Les oblies de silici s'allotgen en un suport especial per garantir una calor uniforme durant l'oxidació.
▪ Porta-oblies:
S'utilitza per subjectar l'oblia de silici i garantir que romangui estable durant el procés.
▪ Pedestal:
Una estructura que sosté un suport per a oblies de silici, generalment fet d'un material resistent a altes temperatures.
▪ Ascensor:
S'utilitza per aixecar i treure els porta-oblies de tubs de quars per a la càrrega i descàrrega automàtica d'oblies de silici.
▪ Robot de transferència de galetes:
Situat al lateral del dispositiu del tub del forn, s'utilitza per treure automàticament l'oblea de silici de la caixa i col·locar-la al tub del forn, o treure-la després del processament.
▪ Carrusel d'emmagatzematge de cassets:
El carrusel d'emmagatzematge de cassets s'utilitza per emmagatzemar una caixa que conté oblies de silici i es pot girar per a l'accés del robot.
▪ Casset de galeta:
El casset d'oblies s'utilitza per emmagatzemar i transferir les oblies de silici que s'han de processar.
Data de publicació: 22 d'abril de 2024