لکه څنګه چې پورته ښودل شوي، یو عادي دی
لومړۍ نیمایي:
▪ د تودوخې عنصر (د تودوخې کویل):
د فرنس ټیوب شاوخوا موقعیت لري، معمولا د مقاومت تارونو څخه جوړ شوی، چې د فرنس ټیوب دننه د تودوخې لپاره کارول کیږي.
▪ کوارټز ټیوب:
د ګرم اکسیډیشن فرنس هسته، د لوړ پاکوالي کوارټز څخه جوړه شوې چې کولی شي د لوړې تودوخې سره مقاومت وکړي او په کیمیاوي توګه غیر فعال پاتې شي.
▪ د ګازو تغذیه:
د فرنس ټیوب په پورتنۍ برخه یا اړخ کې موقعیت لري، دا د فرنس ټیوب دننه اکسیجن یا نور ګازونه لیږدولو لپاره کارول کیږي.
▪ د ایس ایس فلانج:
هغه برخې چې د کوارټز ټیوبونه او ګاز لینونه سره نښلوي، د اتصال ټینګښت او ثبات ډاډمن کوي.
▪ د ګازو د تغذیې لینونه:
هغه پایپونه چې د ګازو د لیږد لپاره MFC د ګازو رسولو بندر سره نښلوي.
▪ MFC (د ډله ییز جریان کنټرولر):
یوه وسیله چې د کوارټز ټیوب دننه د ګاز جریان کنټرولوي ترڅو د اړتیا وړ ګاز اندازه په دقیق ډول تنظیم کړي.
▪ د هوا جریان:
د فرنس ټیوب دننه څخه د تجهیزاتو بهر ته د اخراج ګاز د ایستلو لپاره کارول کیږي.
ښکته برخه:
▪ په هولډر کې سیلیکون ویفرونه:
د سیلیکون ویفرونه په یوه ځانګړي هولډر کې ځای پر ځای شوي ترڅو د اکسیډیشن پرمهال یوشان تودوخه یقیني کړي.
▪ د ویفر هولډر:
د سیلیکون ویفر ساتلو لپاره کارول کیږي او ډاډ ترلاسه کوي چې سیلیکون ویفر د پروسې په جریان کې مستحکم پاتې کیږي.
▪ د پښو ځای:
یو جوړښت چې د سیلیکون ویفر هولډر ساتي، معمولا د لوړې تودوخې مقاومت لرونکي موادو څخه جوړ شوی.
▪ لفټ:
د سیلیکون ویفرونو د اتوماتیک بارولو او پورته کولو لپاره د کوارټز ټیوبونو دننه او بهر د ویفر هولډرونو پورته کولو لپاره کارول کیږي.
▪ د ویفر لیږد روبوټ:
د فرنس ټیوب وسیلې په څنګ کې موقعیت لري، دا د بکس څخه د سیلیکون ویفر په اتوماتيک ډول لرې کولو او په فرنس ټیوب کې ځای په ځای کولو لپاره کارول کیږي، یا د پروسس وروسته یې لرې کوي.
▪ د کیسیټ ذخیره کولو کیروسل:
د کیسټ ذخیره کولو کیروسل د سیلیکون ویفرونو لرونکي بکس ذخیره کولو لپاره کارول کیږي او د روبوټ لاسرسي لپاره ګرځیدلی شي.
▪ د ویفر کیسیټ:
د ویفر کیسیټ د سیلیکون ویفرونو د ذخیره کولو او لیږدولو لپاره کارول کیږي ترڅو پروسس شي.
د پوسټ وخت: اپریل-۲۲-۲۰۲۴