Mar a chithear gu h-àrd, 's e rud àbhaisteach a th' ann
A’ chiad leth:
▪ Eileamaid teasachaidh (coil teasachaidh):
suidhichte timcheall air tiùb an àmhainn, mar as trice air a dhèanamh de uèirichean strì, air an cleachdadh gus taobh a-staigh tiùb an àmhainn a theasachadh.
▪ Tiùb Grian-chlach:
Cridhe àmhainn ocsaididh teth, air a dhèanamh de chuartz àrd-ghlan a dh'fhaodas seasamh ri teòthachd àrd agus fuireach neo-ghnìomhach gu ceimigeach.
▪ Biadhadh Gas:
Suidhichte aig mullach no taobh tiùb an àmhainn, thathar ga chleachdadh gus ocsaidean no gasaichean eile a ghiùlan a-steach do thaobh a-staigh tiùb an àmhainn.
▪ Flange SS:
pàirtean a cheanglas tiùban grian-chlach agus loidhnichean gas, a’ dèanamh cinnteach à teann agus seasmhachd a’ cheangail.
▪ Loidhnichean Biadhaidh Gas:
Pìoban a cheanglas an MFC ris a’ phort solair gas airson tar-chur gas.
▪ MFC (Smachdadair Sruthadh Tomad):
Inneal a bhios a’ cumail smachd air sruthadh gas taobh a-staigh tiùb grian-chlach gus an ìre de ghas a tha a dhìth a riaghladh gu mionaideach.
▪ Fionnaire:
Air a chleachdadh gus gas sgapaidh a thoirt a-mach à taobh a-staigh tiùb an àmhainn gu taobh a-muigh an uidheim.
Pàirt ìosal:
▪ Uaifearan Silicon ann an Sealbhaiche:
Tha uaifearan silicon air an cumail ann an neach-gleidhidh sònraichte gus dèanamh cinnteach à teas cunbhalach rè oxidation.
▪ Sealbhaiche Uaifeir:
Air a chleachdadh gus an uaimh silicon a chumail agus dèanamh cinnteach gu bheil an uaimh silicon seasmhach rè a’ phròiseis.
▪ Peidestal:
Structar a chumas gleidheadair wafer silicon, mar as trice air a dhèanamh de stuth a tha an aghaidh teòthachd àrd.
▪ Àrdaichear:
Air a chleachdadh gus luchd-gleidhidh wafer a thogail a-steach agus a-mach à tiùban grian-chlach airson luchdachadh is dì-luchdachadh wafers silicon gu fèin-ghluasadach.
▪ Robot Gluasaid Uaifearan:
suidhichte air taobh inneal tiùb an àmhainn, thathar ga chleachdadh gus an uabhar silicon a thoirt a-mach às a’ bhogsa gu fèin-ghluasadach agus a chuir anns an tiùb àmhainn, no a thoirt air falbh às deidh a phròiseasadh.
▪ Carousel Stòraidh Cassette:
Bithear a’ cleachdadh carousel stòraidh caiséid gus bogsa anns a bheil uaifearan silicon a stòradh agus faodar a thionndadh airson ruigsinneachd le robot.
▪ Caset Wafer:
Bithear a’ cleachdadh cassette wafer gus na wafers silicon a stòradh agus a ghluasad a thèid a phròiseasadh.
Àm puist: 22 Giblean 2024