Peç turbasynyň enjamlarynyň içki gurluşy jikme-jik düşündirilýär

Ýokarda görkezilişi ýaly, adaty bir zatdyr

Birinji ýarym:

▪ Gyzdyryjy element (gyzdyryjy spiral):

peç turbasynyň töwereginde ýerleşýär, adatça garşylyk simlerinden ýasalýar we peç turbasynyň içini gyzdyrmak üçin ulanylýar.

▪ Kwars turbasy:

Ýokary temperatura çydap bilýän we himiki taýdan inert bolup bilýän ýokary arassa kwartsdan ýasalan gyzgyn oksidlenme peçiniň özeni.

▪ Gaz üpjünçiligi:

Peç turbasynyň ýokarky ýa-da gapdalynda ýerleşýän ol kislorody ýa-da beýleki gazlary peç turbasynyň içine daşamak üçin ulanylýar.

▪ SS flanş:

kwarts turbalaryny we gaz geçirijilerini birleşdirýän, birikdirilmäniň berkligini we durnuklylygyny üpjün edýän komponentler.

▪ Gaz geçiriji turbalar:

Gaz geçirijilik üçin MFC-ni gaz üpjünçilik portuna birikdirýän turbalar.

▪ MFC (Massa akymynyň gözegçisi):

Zerur bolan gazyň mukdaryny takyk sazlamak üçin kwarts turbasynyň içindeki gazyň akymyny dolandyrýan enjam.

▪ Howa çykaryş deşigi:

Peç turbasynyň içinden enjamyň daşyna çykýan gazy çykarmak üçin ulanylýar.

Aşaky bölek:

▪ Tutujydaky kremniý plitalary:

Oksidlenme wagtynda birmeňzeş ýylylygy üpjün etmek üçin kremniý waferleri ýörite saklaýjyda saklanýar.

▪ Wafer saklaýjy:

Kremniý waferini saklamak we prosesiň dowamynda kremniý waferiniň durnukly galmagyny üpjün etmek üçin ulanylýar.

▪ Pýedestal:

Adatça ýokary temperatura çydamly materialdan ýasalan kremniý wafer saklaýjyny saklaýan gurluş.

▪ Lift:

Kremniý waferlerini awtomatik ýüklemek we düşürmek üçin wafer tutujylaryny kwars turbalaryna götermek we çykarmak üçin ulanylýar.

▪ Wafer Geçiriji Robot:

peç turbasynyň enjamynyň gapdalynda ýerleşýän ol kremniý waferini gutudan awtomatiki usulda aýyrmak we ony peç turbasyna goýmak ýa-da gaýtadan işlenenden soň aýyrmak üçin ulanylýar.

▪ Kasset Saklamak Karuseli:

Kasset saklama karuseli kremniý waferlerini saklaýan gutuny saklamak üçin ulanylýar we robotyň elýeterliligi üçin ony aýlap bolýar.

▪ Wafer kassetasy:

Wafer kassetasy gaýtadan işlenmeli kremniý waferlerini saklamak we geçirmek üçin ulanylýar.