ਜਿਵੇਂ ਕਿ ਉੱਪਰ ਦਿਖਾਇਆ ਗਿਆ ਹੈ, ਇੱਕ ਆਮ ਹੈ
ਪਹਿਲਾ ਅੱਧ:
▪ ਹੀਟਿੰਗ ਐਲੀਮੈਂਟ (ਹੀਟਿੰਗ ਕੋਇਲ):
ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਆਲੇ-ਦੁਆਲੇ ਸਥਿਤ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਰੋਧਕ ਤਾਰਾਂ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਜੋ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰਲੇ ਹਿੱਸੇ ਨੂੰ ਗਰਮ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
▪ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬ:
ਇੱਕ ਗਰਮ ਆਕਸੀਕਰਨ ਭੱਠੀ ਦਾ ਕੋਰ, ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੈ ਜੋ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਦਾ ਸਾਮ੍ਹਣਾ ਕਰ ਸਕਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਰਸਾਇਣਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਅਯੋਗ ਰਹਿੰਦਾ ਹੈ।
▪ ਗੈਸ ਫੀਡ:
ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਉੱਪਰ ਜਾਂ ਪਾਸੇ ਸਥਿਤ, ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਆਕਸੀਜਨ ਜਾਂ ਹੋਰ ਗੈਸਾਂ ਨੂੰ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰ ਲਿਜਾਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
▪ SS ਫਲੈਂਜ:
ਉਹ ਹਿੱਸੇ ਜੋ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬਾਂ ਅਤੇ ਗੈਸ ਲਾਈਨਾਂ ਨੂੰ ਜੋੜਦੇ ਹਨ, ਜੋ ਕਿ ਕੁਨੈਕਸ਼ਨ ਦੀ ਮਜ਼ਬੂਤੀ ਅਤੇ ਸਥਿਰਤਾ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਂਦੇ ਹਨ।
▪ ਗੈਸ ਫੀਡ ਲਾਈਨਾਂ:
ਪਾਈਪ ਜੋ ਗੈਸ ਟ੍ਰਾਂਸਮਿਸ਼ਨ ਲਈ MFC ਨੂੰ ਗੈਸ ਸਪਲਾਈ ਪੋਰਟ ਨਾਲ ਜੋੜਦੇ ਹਨ।
▪ MFC (ਮਾਸ ਫਲੋ ਕੰਟਰੋਲਰ):
ਇੱਕ ਯੰਤਰ ਜੋ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰ ਗੈਸ ਦੇ ਪ੍ਰਵਾਹ ਨੂੰ ਨਿਯੰਤਰਿਤ ਕਰਦਾ ਹੈ ਤਾਂ ਜੋ ਲੋੜੀਂਦੀ ਗੈਸ ਦੀ ਮਾਤਰਾ ਨੂੰ ਸਹੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਨਿਯੰਤ੍ਰਿਤ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕੇ।
▪ ਵੈਂਟ:
ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਦੇ ਅੰਦਰੋਂ ਉਪਕਰਣ ਦੇ ਬਾਹਰ ਐਗਜ਼ਾਸਟ ਗੈਸ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
ਹੇਠਲਾ ਹਿੱਸਾ:
▪ ਹੋਲਡਰ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ:
ਆਕਸੀਕਰਨ ਦੌਰਾਨ ਇਕਸਾਰ ਗਰਮੀ ਨੂੰ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ ਹੋਲਡਰ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
▪ ਵੇਫਰ ਹੋਲਡਰ:
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਫੜਨ ਅਤੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਕਿ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਦੌਰਾਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਸਥਿਰ ਰਹੇ।
▪ ਪੈਦਲ ਰਸਤਾ:
ਇੱਕ ਢਾਂਚਾ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਹੋਲਡਰ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਰੋਧਕ ਸਮੱਗਰੀ ਤੋਂ ਬਣਿਆ ਹੁੰਦਾ ਹੈ।
▪ ਲਿਫਟ:
ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਦੀ ਆਟੋਮੈਟਿਕ ਲੋਡਿੰਗ ਅਤੇ ਅਨਲੋਡਿੰਗ ਲਈ ਵੇਫਰ ਹੋਲਡਰਾਂ ਨੂੰ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਟਿਊਬਾਂ ਵਿੱਚ ਅਤੇ ਬਾਹਰ ਚੁੱਕਣ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।
▪ ਵੇਫਰ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਰੋਬੋਟ:
ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਡਿਵਾਈਸ ਦੇ ਪਾਸੇ ਸਥਿਤ, ਇਸਦੀ ਵਰਤੋਂ ਬਾਕਸ ਵਿੱਚੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਨੂੰ ਆਪਣੇ ਆਪ ਹਟਾਉਣ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਫਰਨੇਸ ਟਿਊਬ ਵਿੱਚ ਰੱਖਣ, ਜਾਂ ਪ੍ਰੋਸੈਸਿੰਗ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਇਸਨੂੰ ਹਟਾਉਣ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
▪ ਕੈਸੇਟ ਸਟੋਰੇਜ ਕੈਰੋਜ਼ਲ:
ਕੈਸੇਟ ਸਟੋਰੇਜ ਕੈਰੋਜ਼ਲ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਵਾਲੇ ਡੱਬੇ ਨੂੰ ਸਟੋਰ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ ਅਤੇ ਇਸਨੂੰ ਰੋਬੋਟ ਪਹੁੰਚ ਲਈ ਘੁੰਮਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
▪ ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ:
ਵੇਫਰ ਕੈਸੇਟ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਪ੍ਰੋਸੈਸ ਕਰਨ ਲਈ ਸਟੋਰ ਕਰਨ ਅਤੇ ਟ੍ਰਾਂਸਫਰ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਅਪ੍ਰੈਲ-22-2024