Yuxarıda göstərildiyi kimi, tipik bir
Birinci yarı:
▪ Qızdırıcı Element (qızdırıcı spiral):
soba borusunun ətrafında yerləşən, adətən soba borusunun içini qızdırmaq üçün istifadə olunan müqavimət tellərindən hazırlanmış.
▪ Kvars borusu:
Yüksək temperaturlara davam gətirə bilən və kimyəvi cəhətdən inert qalan yüksək təmizlikli kvarsdan hazırlanmış isti oksidləşmə sobasının nüvəsi.
▪ Qaz təchizatı:
Soba borusunun yuxarı və ya yan hissəsində yerləşən bu borus, oksigen və ya digər qazları soba borusunun içərisinə daşımaq üçün istifadə olunur.
▪ SS Flanş:
kvars borularını və qaz xətlərini birləşdirən, birləşmənin möhkəmliyini və sabitliyini təmin edən komponentlər.
▪ Qaz təchizatı xətləri:
Qaz ötürülməsi üçün MFC-ni qaz təchizatı portuna birləşdirən borular.
▪ MFC (Kütlə Axını Nəzarətçisi):
Kvars borusu içərisindəki qaz axınını idarə edən və tələb olunan qaz miqdarını dəqiq şəkildə tənzimləyən cihaz.
▪ Ventilyasiya dəliyi:
İşlənmiş qazı soba borusunun içərisindən avadanlığın xaricinə buraxmaq üçün istifadə olunur.
Aşağı hissə:
▪ Tutucuda Silikon Vaflilər:
Oksidləşmə zamanı vahid istiliyi təmin etmək üçün silikon lövhələr xüsusi bir tutucuda yerləşdirilir.
▪ Lövhə Tutucusu:
Silikon lövhəni saxlamaq və proses zamanı silikon lövhənin sabit qalmasını təmin etmək üçün istifadə olunur.
▪ Piyada:
Adətən yüksək temperatura davamlı materialdan hazırlanmış silikon lövhə tutucusu olan bir quruluş.
▪ Lift:
Silikon lövhələrin avtomatik yüklənməsi və boşaldılması üçün lövhə tutucularını kvars borularına qaldırmaq və çıxarmaq üçün istifadə olunur.
▪ Lövhə Transfer Robotu:
soba borusu cihazının yan tərəfində yerləşən bu cihaz, silikon lövhəni qutudan avtomatik olaraq çıxarmaq və soba borusuna yerləşdirmək və ya emaldan sonra çıxarmaq üçün istifadə olunur.
▪ Kaset Saxlama Karuseli:
Kaset saxlama karuseli, silikon lövhələr olan bir qutu saxlamaq üçün istifadə olunur və robotun girişi üçün fırlana bilər.
▪ Vafli Kaseti:
Vafli kaseti, emal ediləcək silikon vaflilərin saxlanması və köçürülməsi üçün istifadə olunur.
Yazı vaxtı: 22 aprel 2024