အထက်တွင်ပြထားသည့်အတိုင်း ၎င်းသည် ပုံမှန်
ပထမပိုင်း:
▪ အပူပေးဒြပ်စင် (အပူပေးကွိုင်) :
မီးဖိုပြွန်တစ်ဝိုက်တွင် တည်ရှိပြီး၊ များသောအားဖြင့် ခုခံအားဝါယာကြိုးများဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး မီးဖိုပြွန်၏ အတွင်းပိုင်းကို အပူပေးရန် အသုံးပြုသည်။
▪ ကွာ့ဇ်ပြွန်:
မြင့်မားသောအပူချိန်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဓာတုဗေဒအရ မလှုပ်ရှားနိုင်သော မြင့်မားသောသန့်စင်သည့် ကွာ့ဇ်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသော အပူပေးဓာတ်တိုးမီးဖို၏ အတွင်းပိုင်း။
▪ ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့မှု-
မီးဖိုပြွန်၏ အပေါ် သို့မဟုတ် ဘေးတွင် တည်ရှိပြီး အောက်ဆီဂျင် သို့မဟုတ် အခြားဓာတ်ငွေ့များကို မီးဖိုပြွန်၏ အတွင်းသို့ သယ်ယူပို့ဆောင်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
▪ SS အနားကွပ်:
ကွာ့ဇ်ပြွန်များနှင့် ဓာတ်ငွေ့လိုင်းများကို ချိတ်ဆက်ပေးသော အစိတ်အပိုင်းများ၊ ချိတ်ဆက်မှု၏ တင်းကျပ်မှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုကို သေချာစေသည်။
▪ ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့ရေးလိုင်းများ
ဓာတ်ငွေ့ပို့လွှတ်ရန်အတွက် MFC ကို ဓာတ်ငွေ့ထောက်ပံ့ရေးပေါက်နှင့် ချိတ်ဆက်ပေးသော ပိုက်များ။
▪ MFC (Mass Flow Controller) :
လိုအပ်သော ဓာတ်ငွေ့ပမာဏကို တိကျစွာ ထိန်းညှိပေးရန်အတွက် ကွာ့ဇ်ပြွန်အတွင်းရှိ ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုကို ထိန်းချုပ်ပေးသည့် ကိရိယာ။
▪ လေဝင်ပေါက်-
မီးဖိုပြွန်အတွင်းမှ စက်ပစ္စည်းအပြင်ဘက်သို့ စွန့်ထုတ်ဓာတ်ငွေ့များ စွန့်ထုတ်ရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
အောက်ပိုင်း:
▪ ကိုင်ဆောင်ထားရှိသော ဆီလီကွန်ဝေဖာများ
အောက်ဆီဒေးရှင်းဖြစ်စဉ်အတွင်း အပူတူညီမျှစေရန်အတွက် ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို အထူး Holder တွင် ထည့်ထားကြသည်။
▪ ဝေဖာကိုင်ဆောင်သူ:
ဆီလီကွန်ဝေဖာကို ကိုင်ထားရန်နှင့် လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ဆီလီကွန်ဝေဖာ တည်ငြိမ်နေစေရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
▪ ခုံ:
ဆီလီကွန် ဝေဖာ ကိုင်ဆောင်သူကို ထိန်းထားသည့် တည်ဆောက်ပုံ၊ များသောအားဖြင့် အပူချိန်မြင့် ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
▪ ဓာတ်လှေကား:
ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို အလိုအလျောက် တင်ခြင်းနှင့် ချခြင်းအတွက် ဝေဖာကိုင်ဆောင်သူများကို ကွာ့ဇ်ပြွန်များအတွင်းသို့ မတင်ရန် အသုံးပြုသည်။
▪ ဝေဖာလွှဲပြောင်းစက်ရုပ်-
မီးဖိုပြွန်ကိရိယာ၏ဘေးတွင်တည်ရှိပြီး ဆီလီကွန်ဝေဖာကို သေတ္တာမှ အလိုအလျောက်ဖယ်ရှားပြီး မီးဖိုပြွန်ထဲတွင်ထည့်ရန် သို့မဟုတ် လုပ်ဆောင်ပြီးနောက် ဖယ်ရှားရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
▪ ကက်ဆက်သိုလှောင်မှု လှည့်ပတ်စက်:
ကက်ဆက်သိုလှောင်မှု ကာရိုးလ်ကို ဆီလီကွန်ဝေဖာများပါရှိသော သေတ္တာတစ်လုံးကို သိမ်းဆည်းရန် အသုံးပြုပြီး စက်ရုပ်ဝင်ရောက်နိုင်ရန် လှည့်နိုင်သည်။
▪ ဝေဖာ ကက်ဆက်:
wafer cassette ကို စီမံဆောင်ရွက်မည့် ဆီလီကွန် wafers များကို သိမ်းဆည်းရန်နှင့် လွှဲပြောင်းရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။
ပို့စ်တင်ချိန်: ၂၀၂၄ ခုနှစ်၊ ဧပြီလ ၂၂ ရက်
