Struktur internal tina parabot tabung tungku dijelaskeun sacara rinci

Sakumaha anu dipidangkeun di luhur, mangrupikeun ciri khas

Satengah babak kahiji:

▪ Élémen Pemanas (koil pemanas):

ayana di sabudeureun tabung tungku, biasana dijieun tina kawat résistansi, dipaké pikeun manaskeun bagian jero tabung tungku.

▪ Tabung Kuarsa:

Inti tina tungku oksidasi panas, dijieun tina kuarsa kalayan kamurnian luhur anu tiasa tahan suhu luhur sareng tetep inert sacara kimia.

▪ Eupan Gas:

Perenahna di bagian luhur atawa sisi tabung tungku, ieu dipaké pikeun ngangkut oksigén atawa gas séjén ka jero tabung tungku.

▪ Flensa SS:

komponén anu nyambungkeun tabung kuarsa sareng jalur gas, mastikeun pageuh sareng stabilitas sambunganna.

▪ Saluran Eupan Gas:

Pipa anu nyambungkeun MFC ka palabuhan suplai gas pikeun transmisi gas.

▪ MFC (Pangendali Aliran Massa) :

Alat anu ngontrol aliran gas di jero tabung kuarsa pikeun ngatur jumlah gas anu diperyogikeun sacara tepat.

▪ Ventilasi:

Dianggo pikeun ngaluarkeun gas buang ti jero tabung tungku ka luar peralatan.

Bagian handap:

▪ Wafer Silikon dina Wadahna:

Wafer silikon disimpen dina wadah khusus pikeun mastikeun panas anu seragam nalika oksidasi.

▪ Tempat Wafer:

Dianggo pikeun nahan wafer silikon sareng mastikeun yén wafer silikon tetep stabil salami prosés.

▪ Alas:

Struktur anu nyepeng wadah wafer silikon, biasana didamel tina bahan anu tahan suhu luhur.

▪ Lift:

Dianggo pikeun ngangkat wadah Wafer ka jero jeung ka luar tina tabung kuarsa pikeun otomatis ngamuat jeung ngabongkar wafer silikon.

▪ Robot Transfer Wafer:

ayana di sisi alat tabung tungku, ieu dianggo pikeun sacara otomatis nyabut wafer silikon tina kotak sareng nempatkeunana dina tabung tungku, atanapi nyabutna saatos diprosés.

▪ Korsel Panyimpenan Kaset:

Korsel panyimpenan kaset dianggo pikeun nyimpen kotak anu eusina wafer silikon sareng tiasa diputer pikeun aksés robot.

▪ Kaset Wafer:

Kaset wafer dianggo pikeun nyimpen sareng mindahkeun wafer silikon anu badé diolah.