উপরে যেমন দেখানো হয়েছে, এটি একটি সাধারণ
প্রথমার্ধ:
▪ হিটিং এলিমেন্ট (হিটিং কয়েল) :
ফার্নেস টিউবের চারপাশে অবস্থিত, সাধারণত রোধক তার দিয়ে তৈরি, যা ফার্নেস টিউবের ভেতরের অংশ গরম করতে ব্যবহৃত হয়।
▪ কোয়ার্টজ টিউব:
একটি উত্তপ্ত জারণ চুল্লির কেন্দ্রভাগ উচ্চ-বিশুদ্ধ কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি, যা উচ্চ তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে এবং রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় থাকে।
▪ গ্যাস সরবরাহ:
ফার্নেস টিউবের উপরে বা পাশে অবস্থিত এটি, ফার্নেস টিউবের অভ্যন্তরে অক্সিজেন বা অন্যান্য গ্যাস পরিবহন করতে ব্যবহৃত হয়।
▪ এসএস ফ্ল্যাঞ্জ:
কোয়ার্টজ টিউব এবং গ্যাস লাইন সংযোগকারী উপাদান, যা সংযোগের দৃঢ়তা এবং স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে।
▪ গ্যাস সরবরাহ লাইন:
যে পাইপগুলো গ্যাস সঞ্চালনের জন্য এমএফসি-কে গ্যাস সরবরাহ পোর্টের সাথে সংযুক্ত করে।
▪ এমএফসি (মাস ফ্লো কন্ট্রোলার) :
এমন একটি যন্ত্র যা কোয়ার্টজ টিউবের ভিতরে গ্যাসের প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করে প্রয়োজনীয় গ্যাসের পরিমাণ নির্ভুলভাবে নির্ধারণ করে।
▪ ভেন্ট:
ফার্নেস টিউবের ভেতর থেকে নিষ্কাশিত গ্যাস যন্ত্রের বাইরে বের করে দেওয়ার জন্য ব্যবহৃত হয়।
নিচের অংশ:
▪ হোল্ডারে থাকা সিলিকন ওয়েফারসমূহ:
জারণ প্রক্রিয়ার সময় সুষম তাপ নিশ্চিত করার জন্য সিলিকন ওয়েফারগুলোকে একটি বিশেষ হোল্ডারে রাখা হয়।
▪ ওয়েফার হোল্ডার:
প্রক্রিয়াকরণ চলাকালীন সিলিকন ওয়েফারকে ধরে রাখতে এবং এর স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে এটি ব্যবহৃত হয়।
▪ পাদপীঠ:
একটি কাঠামো যা সিলিকন ওয়েফার হোল্ডারকে ধরে রাখে, যা সাধারণত উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী উপাদান দিয়ে তৈরি হয়।
▪ লিফট:
সিলিকন ওয়েফারের স্বয়ংক্রিয় লোডিং ও আনলোডিংয়ের জন্য কোয়ার্টজ টিউবের ভেতরে ও বাইরে ওয়েফার হোল্ডার ওঠানো-নামানোর কাজে ব্যবহৃত হয়।
▪ ওয়েফার স্থানান্তর রোবট:
ফার্নেস টিউব ডিভাইসের পাশে অবস্থিত এই যন্ত্রটি স্বয়ংক্রিয়ভাবে বাক্স থেকে সিলিকন ওয়েফার বের করে ফার্নেস টিউবে রাখতে, অথবা প্রক্রিয়াকরণের পরে তা বের করে আনতে ব্যবহৃত হয়।
▪ ক্যাসেট স্টোরেজ ক্যারোসেল:
ক্যাসেট স্টোরেজ ক্যারোসেল সিলিকন ওয়েফারযুক্ত বাক্স সংরক্ষণের জন্য ব্যবহৃত হয় এবং রোবটের প্রবেশের সুবিধার জন্য এটিকে ঘোরানো যায়।
▪ ওয়েফার ক্যাসেট:
প্রক্রিয়াজাত করার জন্য সিলিকন ওয়েফার সংরক্ষণ ও স্থানান্তর করতে ওয়েফার ক্যাসেট ব্যবহার করা হয়।
পোস্ট করার সময়: ২২-এপ্রিল-২০২৪