Innri uppbygging ofnrörbúnaðarins er útskýrð í smáatriðum

Eins og fram kemur hér að ofan, er dæmigert

Fyrri hálfleikurinn:

▪ Hitaeining (hitaspóla):

Staðsett í kringum ofnrörið, venjulega úr viðnámsvírum, notuð til að hita upp að innan í ofnrörinu.

▪ Kvarsrör:

Kjarni heitoxunarofns, úr hágæða kvarsi sem þolir hátt hitastig og er efnafræðilega óvirkur.

▪ Gasfóðrun:

Það er staðsett efst eða á hlið ofnrörsins og er notað til að flytja súrefni eða aðrar lofttegundir inn í ofnrörið.

▪ SS flans:

Íhlutir sem tengja kvarsrör og gasleiðslur saman og tryggja þéttleika og stöðugleika tengingarinnar.

▪ Gasleiðslur:

Pípur sem tengja MFC við gasveituopið fyrir gasflutning.

▪ MFC (Massflæðisstýring):

Tæki sem stýrir gasflæði inni í kvarsröri til að stilla nákvæmlega magn gass sem þarf.

▪ Loftræsting:

Notað til að lofta útblástursloftinu innan úr ofnrörinu að utanverðu búnaðinum.

Neðri hluti:

▪ Kísilþynnur í haldara:

Kísilskífur eru geymdar í sérstökum haldara til að tryggja jafnan hita við oxun.

▪ Vafrahaldari:

Notað til að halda kísilplötunni og tryggja að hún haldist stöðug meðan á ferlinu stendur.

▪ Súlu:

Mannvirki sem heldur kísilþynnu, venjulega úr efni sem þolir háan hita.

▪ Lyfta:

Notað til að lyfta skífuhöldurum inn í og úr kvarsrörum fyrir sjálfvirka hleðslu og losun kísilskífa.

▪ Flutningsvélmenni fyrir vöfflur:

Staðsett á hlið ofnrörsbúnaðarins, er það notað til að fjarlægja kísilplötuna sjálfkrafa úr kassanum og setja hana í ofnrörið, eða fjarlægja hana eftir vinnslu.

▪ Geymslupallur fyrir spólur:

Geymslupallur fyrir kassettu er notaður til að geyma kassa sem inniheldur kísilþynnur og hægt er að snúa honum til að fá aðgang að honum fyrir vélmenni.