भट्टी नळी उपकरणाच्या अंतर्गत रचनेचे सविस्तर स्पष्टीकरण दिले आहे.

वर दाखवल्याप्रमाणे, एक प्रातिनिधिक

पहिला अर्धा भाग:

▪ हीटिंग एलिमेंट (हीटिंग कॉइल) :

भट्टीच्या नळीच्या भोवती असलेले, सामान्यतः रोधक तारांनी बनवलेले, जे भट्टीच्या नळीच्या आतील भाग गरम करण्यासाठी वापरले जाते.

▪ क्वार्ट्झ ट्यूब:

उष्ण ऑक्सिडेशन भट्टीचा गाभा, जो उच्च तापमान सहन करू शकणाऱ्या आणि रासायनिक दृष्ट्या निष्क्रिय राहणाऱ्या उच्च-शुद्धतेच्या क्वार्ट्जपासून बनलेला असतो.

▪ गॅस पुरवठा:

भट्टीच्या नळीच्या वरच्या किंवा बाजूला स्थित असून, त्याचा उपयोग ऑक्सिजन किंवा इतर वायू भट्टीच्या नळीच्या आत पोहोचवण्यासाठी केला जातो.

▪ एसएस फ्लॅंज:

क्वार्ट्झ ट्यूब आणि गॅस लाईन्सना जोडणारे घटक, जे जोडणीची घट्टपणा आणि स्थिरता सुनिश्चित करतात.

▪ गॅस पुरवठा वाहिन्या:

गॅस पारेषणासाठी एमएफसीला गॅस पुरवठा पोर्टशी जोडणारे पाईप.

▪ एमएफसी (मास फ्लो कंट्रोलर) :

क्वार्ट्झ ट्यूबमधील वायूचा प्रवाह नियंत्रित करून आवश्यक वायूचे प्रमाण अचूकपणे नियंत्रित करणारे उपकरण.

▪ मन मोकळे करणे:

भट्टीच्या नळीच्या आतील एक्झॉस्ट वायू उपकरणाच्या बाहेर सोडण्यासाठी वापरले जाते.

खालचा भाग:

▪ होल्डरमधील सिलिकॉन वेफर्स:

ऑक्सिडेशन दरम्यान एकसमान उष्णता मिळावी यासाठी सिलिकॉन वेफर्स एका विशेष होल्डरमध्ये ठेवले जातात.

▪ वेफर होल्डर:

सिलिकॉन वेफरला धरून ठेवण्यासाठी आणि प्रक्रियेदरम्यान सिलिकॉन वेफर स्थिर राहील याची खात्री करण्यासाठी वापरले जाते.

▪ चबुतरा:

सिलिकॉन वेफर होल्डरला धरून ठेवणारी एक रचना, जी सहसा उच्च तापमान प्रतिरोधक पदार्थापासून बनवलेली असते.

▪ लिफ्ट:

सिलिकॉन वेफर्सच्या स्वयंचलित लोडिंग आणि अनलोडिंगसाठी वेफर होल्डर्सना क्वार्ट्झ ट्यूबमध्ये आत आणि बाहेर उचलण्यासाठी वापरले जाते.

▪ वेफर ट्रान्सफर रोबोट:

फर्नेस ट्यूब डिव्हाइसच्या बाजूला स्थित, याचा उपयोग सिलिकॉन वेफरला बॉक्समधून स्वयंचलितपणे काढून फर्नेस ट्यूबमध्ये ठेवण्यासाठी किंवा प्रक्रियेनंतर बाहेर काढण्यासाठी केला जातो.

▪ कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेल:

कॅसेट स्टोरेज कॅरोसेलचा उपयोग सिलिकॉन वेफर्स असलेला बॉक्स साठवण्यासाठी केला जातो आणि रोबोटच्या वापरासाठी तो फिरवला जाऊ शकतो.

▪ वेफर कॅसेट:

प्रक्रिया करायच्या सिलिकॉन वेफर्स साठवण्यासाठी आणि हस्तांतरित करण्यासाठी वेफर कॅसेटचा वापर केला जातो.