Uunin putkilaitteiston sisäinen rakenne selitetään yksityiskohtaisesti

Kuten yllä on esitetty, on tyypillinen

Ensimmäinen puolikas:

▪ Lämmityselementti (lämmityspatteri):

uunin putken ympärillä, yleensä vastuslangoista valmistettu, jota käytetään uunin putken sisäpuolen lämmittämiseen.

▪ Kvartsiputki:

Kuumahapetusuunin ydin, joka on valmistettu erittäin puhtaasta kvartsista, joka kestää korkeita lämpötiloja ja pysyy kemiallisesti inerttinä.

▪ Kaasunsyöttö:

Uunin putken ylä- tai sivussa sijaitsevaa venttiiliä käytetään hapen tai muiden kaasujen kuljettamiseen uunin putken sisäpuolelle.

▪ SS-laippa:

komponentit, jotka yhdistävät kvartsiputkia ja kaasujohtoja varmistaen liitoksen tiiviyden ja vakauden.

▪ Kaasunsyöttölinjat:

Putket, jotka yhdistävät MFC:n kaasun syöttöporttiin kaasun siirtoa varten.

▪ MFC (massavirtaussäädin):

Laite, joka ohjaa kaasun virtausta kvartsiputken sisällä tarvittavan kaasun määrän tarkalleen säätämiseksi.

▪ Tuuletus:

Käytetään pakokaasun poistamiseen uunin putken sisältä laitteen ulkopuolelle.

Alaosa:

▪ Piilevyt pidikkeessä:

Piikiekot on sijoitettu erityiseen pidikkeeseen tasaisen lämmön varmistamiseksi hapettumisen aikana.

▪ Kiekkopidike:

Käytetään piikiekon pitämiseen ja sen vakauden varmistamiseen prosessin aikana.

▪ Jalusta:

Piikiekkojen pidike, joka on yleensä valmistettu korkeaa lämpötilaa kestävästä materiaalista.

▪ Hissi:

Käytetään kiekkojen pidikkeiden nostamiseen kvartsiputkiin ja niistä pois piikiekkojen automaattista lastausta ja purkamista varten.

▪ Kiekkojen siirtorobotti:

Uuniputkilaitteen sivussa sijaitsevaa laitetta käytetään piikiekon automaattiseen poistamiseen laatikosta ja sen asettamiseen uuniputkeen tai sen poistamiseen käsittelyn jälkeen.

▪ Kasettisäilytyskaruselli:

Kasettisäilytyskarusellia käytetään piikiekkoja sisältävän laatikon säilyttämiseen, ja sitä voidaan kääntää robotin pääsyä varten.

▪ Kiekkokasetti:

Kiekkokasettia käytetään käsiteltävien piikiekkojen varastointiin ja siirtämiseen.