Muundo wa ndani wa vifaa vya bomba la tanuru umeelezewa kwa undani

Kama inavyoonyeshwa hapo juu, ni kawaida

Nusu ya kwanza:

▪ Kipengele cha Kupasha Joto (koili ya kupasha joto):

iko karibu na bomba la tanuru, kwa kawaida hutengenezwa kwa waya za upinzani, zinazotumika kupasha joto ndani ya bomba la tanuru.

▪ Mrija wa Quartz:

Kiini cha tanuru ya oksidi ya moto, iliyotengenezwa kwa quartz safi sana ambayo inaweza kuhimili halijoto ya juu na kubaki bila kemikali.

▪ Malisho ya Gesi:

Ikiwa iko juu au upande wa bomba la tanuru, hutumika kusafirisha oksijeni au gesi zingine hadi ndani ya bomba la tanuru.

▪ Flange ya SS:

vipengele vinavyounganisha mirija ya quartz na mistari ya gesi, kuhakikisha uimara na uthabiti wa muunganisho.

▪ Mistari ya Kulisha Gesi:

Mabomba yanayounganisha MFC na lango la usambazaji wa gesi kwa ajili ya usafirishaji wa gesi.

▪ MFC (Kidhibiti cha Mtiririko wa Misa):

Kifaa kinachodhibiti mtiririko wa gesi ndani ya bomba la quartz ili kudhibiti kwa usahihi kiasi cha gesi kinachohitajika.

▪ Uingizaji hewa:

Hutumika kutoa gesi ya kutolea nje kutoka ndani ya bomba la tanuru hadi nje ya kifaa.

Sehemu ya chini:

▪ Vishikio vya Silikoni:

Vigae vya silikoni huwekwa kwenye Kishikilia maalum ili kuhakikisha joto sawa wakati wa oksidi.

▪ Kishikilia Kafe:

Hutumika kushikilia wafer ya silikoni na kuhakikisha kwamba wafer ya silikoni inabaki imara wakati wa mchakato.

▪ Kiti cha miguu:

Muundo unaoshikilia Kishikilia cha wafer cha silikoni, kwa kawaida hutengenezwa kwa nyenzo inayostahimili joto la juu.

▪ Lifti:

Hutumika kuinua vishikilia vya Wafer ndani na nje ya mirija ya quartz kwa ajili ya kupakia na kupakua kiotomatiki wafer za silikoni.

▪ Roboti ya Kuhamisha Kaki:

Ikiwa iko upande wa kifaa cha bomba la tanuru, hutumika kuondoa kiotomatiki kaki ya silikoni kutoka kwenye sanduku na kuiweka kwenye bomba la tanuru, au kuiondoa baada ya kusindika.

▪ Mzunguko wa Kuhifadhi Kaseti:

Mzunguko wa kuhifadhia kaseti hutumika kuhifadhi sanduku lenye vipande vya silikoni na unaweza kuzungushwa kwa ajili ya ufikiaji wa roboti.

▪ Kaseti ya Kafe:

Kaseti ya wafer hutumika kuhifadhi na kuhamisha wafer za silikoni zitakazosindikwa.