فرنس ٽيوب جي سامان جي اندروني بناوت کي تفصيل سان بيان ڪيو ويو آهي.

جيئن مٿي ڏيکاريل آهي، هڪ عام آهي

پهريون اڌ:

▪ حرارتي عنصر (حرارتي ڪوئل):

فرنس ٽيوب جي چوڌاري واقع، عام طور تي مزاحمتي تارن مان ٺهيل، فرنس ٽيوب جي اندر کي گرم ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندا آهن.

▪ ڪوارٽز ٽيوب:

گرم آڪسائيڊيشن فرنس جو ڪور، جيڪو اعليٰ پاڪائي واري ڪوارٽز مان ٺهيل آهي جيڪو اعليٰ گرمي پد کي برداشت ڪري سگهي ٿو ۽ ڪيميائي طور تي غير فعال رهي ٿو.

▪ گئس فيڊ:

فرنس ٽيوب جي مٿئين حصي يا پاسي تي واقع، اهو آڪسيجن يا ٻين گيسن کي فرنس ٽيوب جي اندر منتقل ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي.

▪ ايس ايس فلانج:

جزا جيڪي ڪوارٽز ٽيوب ۽ گئس لائينن کي ڳنڍيندا آهن، ڪنيڪشن جي سختي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائيندا آهن.

▪ گئس فيڊ لائينون:

پائپ جيڪي ايم ايف سي کي گئس سپلاءِ پورٽ سان گئس ٽرانسميشن لاءِ ڳنڍيندا آهن.

▪ ايم ايف سي (ماس فلو ڪنٽرولر):

هڪ اهڙو اوزار جيڪو ڪوارٽز ٽيوب اندر گئس جي وهڪري کي ڪنٽرول ڪري ٿو ته جيئن گهربل گئس جي مقدار کي صحيح طور تي منظم ڪري سگهجي.

▪ وينٽ:

فرنس ٽيوب جي اندر کان سامان جي ٻاهران نڪرڻ واري گئس کي ٻاهر ڪڍڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

هيٺيون حصو:

▪ هولڊر ۾ سلڪون ويفر:

سلڪون ويفرز کي هڪ خاص هولڊر ۾ رکيو ويندو آهي ته جيئن آڪسائيڊيشن دوران هڪجهڙي گرمي کي يقيني بڻائي سگهجي.

▪ ويفر هولڊر:

سلڪون ويفر کي رکڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ يقيني بڻائيندو آهي ته سلڪون ويفر عمل دوران مستحڪم رهي.

▪ پيادل رستو:

هڪ اهڙي جوڙجڪ جيڪا سلڪون ويفر هولڊر کي رکي ٿي، عام طور تي هڪ اعليٰ گرمي پد جي مزاحمتي مواد مان ٺهيل آهي.

▪ لفٽ:

سلڪون ويفرز جي خودڪار لوڊنگ ۽ ان لوڊنگ لاءِ ويفر هولڊرز کي ڪوارٽز ٽيوب ۾ ۽ ٻاهر ڪڍڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

▪ ويفر ٽرانسفر روبوٽ:

فرنس ٽيوب ڊيوائس جي پاسي تي واقع، اهو دٻي مان سلڪون ويفر کي خودڪار طريقي سان ڪڍڻ ۽ ان کي فرنس ٽيوب ۾ رکڻ، يا پروسيسنگ کان پوءِ هٽائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

▪ ڪيسٽ اسٽوريج ڪيروسل:

ڪيسٽ اسٽوريج ڪيروسل سلڪون ويفرز تي مشتمل هڪ باڪس کي ذخيرو ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ۽ روبوٽ رسائي لاءِ گھمائي سگهجي ٿو.

▪ ويفر ڪيسٽ:

ويفر ڪيسٽ پروسيس ٿيڻ لاءِ سلڪون ويفرز کي ذخيرو ڪرڻ ۽ منتقل ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.