Внутреннее устройство трубчатого оборудования печи подробно описано.

Как показано выше, это типичный

Первая половина:

▪ Нагревательный элемент (нагревательная спираль):

Расположенные вокруг печной трубы, обычно изготовленные из резистивных проводов, они используются для нагрева внутренней части печной трубы.

▪ Кварцевая трубка:

Сердцевина печи горячего окисления изготовлена из высокочистого кварца, способного выдерживать высокие температуры и оставаться химически инертным.

▪ Подача газа:

Расположенный в верхней или боковой части печной трубы, он используется для подачи кислорода или других газов внутрь печной трубы.

▪ Фланец из нержавеющей стали:

Компоненты, соединяющие кварцевые трубки и газопроводы, обеспечивающие герметичность и стабильность соединения.

▪ Газопроводы:

Трубы, соединяющие микротопливный элемент с портом подачи газа для его транспортировки.

▪ MFC (регулятор массового расхода):

Устройство, которое контролирует поток газа внутри кварцевой трубки для точного регулирования необходимого количества газа.

▪ Вентиляция:

Используется для отвода отработанных газов изнутри труб печи наружу оборудования.

Нижняя часть:

▪ Кремниевые пластины в держателе:

Кремниевые пластины размещаются в специальном держателе для обеспечения равномерного нагрева во время окисления.

▪ Держатель для пластин:

Используется для удержания кремниевой пластины и обеспечения ее стабильности в процессе производства.

▪ Подставка:

Конструкция, удерживающая кремниевую пластину, обычно изготовленная из термостойкого материала.

▪ Лифт:

Используется для подъема и извлечения держателей кремниевых пластин из кварцевых трубок для автоматической загрузки и выгрузки кремниевых пластин.

▪ Робот для переноса пластин:

Расположенное сбоку от трубчатого устройства печи, оно используется для автоматического извлечения кремниевой пластины из коробки и помещения ее в трубчатую печь, или для извлечения ее после обработки.