A struttura interna di l'equipaggiu di tubi di fornu hè spiegata in dettagliu

Cum'è mostratu sopra, hè un tipicu

A prima metà:

▪ Elementu di riscaldamentu (serpentina di riscaldamentu):

situatu intornu à u tubu di u fornu, generalmente fattu di fili di resistenza, utilizati per scaldà l'internu di u tubu di u fornu.

▪ Tubu di quarzu:

U core di un fornu d'ossidazione calda, fattu di quarzu d'alta purezza chì pò sustene alte temperature è rimane chimicamente inerte.

▪ Alimentazione di gas:

Situatu in cima o à u latu di u tubu di u fornu, hè adupratu per trasportà l'ossigenu o altri gasi à l'internu di u tubu di u fornu.

▪ Flangia SS:

cumpunenti chì cunnettanu tubi di quarzu è linee di gas, assicurendu a tenuta è a stabilità di a cunnessione.

▪ Linee di alimentazione di gas:

Tubi chì cunnettanu l'MFC à u portu di furnimentu di gasu per a trasmissione di gasu.

▪ MFC (Controllore di Flussu di Massa):

Un apparechju chì cuntrolla u flussu di gasu in un tubu di quarzu per regulà precisamente a quantità di gasu necessaria.

▪ Ventilazione:

Adupratu per evacuà u gasu di scaricu da l'internu di u tubu di u fornu à l'esternu di l'apparecchiatura.

Parte inferiore:

▪ Cialde di silicone in u supportu:

I wafer di silicone sò allughjati in un supportu speciale per assicurà un calore uniforme durante l'ossidazione.

▪ Porta-cialda:

Adupratu per mantene a cialda di siliciu è assicurà chì a cialda di siliciu resti stabile durante u prucessu.

▪ Piedistallu:

Una struttura chì cuntene un supportu di wafer di siliciu, generalmente fattu di un materiale resistente à alte temperature.

▪ Ascensore:

Adupratu per alzà i porta-wafer in è fora di i tubi di quarzu per u caricamentu è u scaricamentu automaticu di wafer di siliciu.

▪ Robot di Trasferimentu di Wafer:

Situatu à u latu di u dispusitivu di u tubu di u fornu, hè adupratu per caccià automaticamente a cialda di siliciu da a scatula è mette la in u tubu di u fornu, o caccià la dopu à u trattamentu.

▪ Carusellu di almacenamentu di cassette:

U carusellu di almacenamentu di cassette hè adupratu per almacenà una scatula chì cuntene wafer di siliciu è pò esse giratu per l'accessu di i robot.

▪ Cassetta di cialde:

A cassetta di wafer hè aduprata per almacenà è trasferisce i wafer di siliciu da processà.