Меш түтүк жабдууларынын ички түзүлүшү кененирээк түшүндүрүлөт

Жогоруда көрсөтүлгөндөй, бул типтүү

Биринчи тайм:

▪ Жылытуу элементи (жылытуу катушкасы):

меш түтүгүнүн айланасында жайгашкан, адатта каршылык көрсөтүүчү зымдардан жасалган, меш түтүгүнүн ичин жылытуу үчүн колдонулат.

▪ Кварц түтүгү:

Ысык кычкылдандыруучу мештин өзөгү, жогорку температурага туруштук бере алган жана химиялык жактан инерттүү бойдон кала алган жогорку тазалыктагы кварцтан жасалган.

▪ Газ менен камсыздоо:

Мештин түтүгүнүн үстүнкү же каптал жагында жайгашкан ал кычкылтекти же башка газдарды мештин түтүгүнүн ичине ташуу үчүн колдонулат.

▪ SS фланец:

кварц түтүктөрүн жана газ түтүктөрүн туташтыруучу компоненттер, туташуунун бекемдигин жана туруктуулугун камсыз кылат.

▪ Газ берүү линиялары:

Газ өткөрүү үчүн MFCни газ менен камсыздоо портуна туташтыруучу түтүктөр.

▪ MFC (Массалык агым контроллери):

Кварц түтүгүнүн ичиндеги газдын агымын башкаруучу жана керектүү газдын көлөмүн так жөнгө салуучу түзүлүш.

▪ Желдеткич:

Мештин түтүгүнүн ичинен чыккан газды жабдуулардын сыртына чыгаруу үчүн колдонулат.

Төмөнкү бөлүгү:

▪ Кармоочудагы кремний пластиналары:

Кремний пластиналары кычкылдануу учурунда бирдей жылуулукту камсыз кылуу үчүн атайын кармагычта сакталат.

▪ Вафли кармагыч:

Кремний пластинасын кармап туруу жана процесстин жүрүшүндө кремний пластинасынын туруктуу бойдон калышын камсыз кылуу үчүн колдонулат.

▪ Подъезд:

Кремний пластинасын кармаган конструкция, адатта жогорку температурага туруктуу материалдан жасалган.

▪ Лифт:

Кремний пластиналарын автоматтык түрдө жүктөө жана түшүрүү үчүн пластина кармагычтарын кварц түтүктөрүнө көтөрүү жана чыгаруу үчүн колдонулат.

▪ Вафли өткөрүп берүүчү робот:

меш түтүкчөсүнүн капталында жайгашкан, ал кремний пластинасын кутудан автоматтык түрдө алып салуу жана аны меш түтүгүнө салуу же иштетилгенден кийин алып салуу үчүн колдонулат.