Como se mostrou arriba, é típico
A primeira metade:
▪ Elemento calefactor (serpentín calefactor):
situado arredor do tubo do forno, xeralmente feito de fíos de resistencia, usado para quentar o interior do tubo do forno.
▪ Tubo de cuarzo:
O núcleo dun forno de oxidación en quente, feito de cuarzo de alta pureza que pode soportar altas temperaturas e permanecer quimicamente inerte.
▪ Alimentación de gas:
Situado na parte superior ou lateral do tubo do forno, utilízase para transportar osíxeno ou outros gases ao interior do tubo do forno.
▪ Brida de aceiro inoxidable:
compoñentes que conectan tubos de cuarzo e liñas de gas, garantindo a estanqueidade e a estabilidade da conexión.
▪ Liñas de alimentación de gas:
Tubaxes que conectan o MFC ao porto de subministración de gas para o transporte de gas.
▪ MFC (Controlador de Fluxo Másico):
Un dispositivo que controla o fluxo de gas dentro dun tubo de cuarzo para regular con precisión a cantidade de gas necesaria.
▪ Ventilación:
Úsase para ventilar os gases de escape do interior do tubo do forno cara ao exterior do equipo.
Parte inferior:
▪ Obleas de silicona no soporte:
As obleas de silicio están aloxadas nun soporte especial para garantir unha calor uniforme durante a oxidación.
▪ Soporte para obleas:
Úsase para suxeitar a oblea de silicio e garantir que permaneza estable durante o proceso.
▪ Pedestal:
Unha estrutura que sostén unha oblea de silicio, normalmente feita dun material resistente a altas temperaturas.
▪ Ascensor:
Úsase para elevar e sacar soportes de obleas de tubos de cuarzo para a carga e descarga automática de obleas de silicio.
▪ Robot de transferencia de obleas:
situado no lateral do dispositivo do tubo do forno, úsase para retirar automaticamente a oblea de silicio da caixa e colocala no tubo do forno, ou retirala despois do procesamento.
▪ Carrusel de almacenamento de casetes:
O carrusel de almacenamento de casetes úsase para almacenar unha caixa que contén obleas de silicio e pode xirarse para o acceso do robot.
▪ Casete de obleas:
O casete de obleas úsase para almacenar e transferir as obleas de silicio que se van procesar.
Data de publicación: 22 de abril de 2024