Structura interna apparatus tubi fornacis accurate explicatur.

Ut supra demonstratum est, typicum est

Prima pars:

▪ Elementum Calefaciens (spira calefaciens):

circa tubum fornacis sita, plerumque ex filis resistentiae confecta, ad calefaciendum interiora tubi fornacis adhibita.

▪ Tubus Quartzensis:

Nucleus fornacis oxidationis calidae, ex quarzo magnae puritatis factus, qui temperaturas altas tolerare potest et chemica iners manere.

▪ Gasis Alimentatio:

In superiore parte vel latere tubi fornacis situm, ad oxygenium vel alia gasa ad interiora tubi fornacis transportanda adhibetur.

▪ Flanga inoxidabilis (vel fortasse: SS)

partes quae tubos quartzos et ductus gasi connectunt, firmitatem et stabilitatem nexus curantes.

▪ Tubi Gasis Advehendi:

Tubi qui MFC cum portu gasis ad transmissionem gasis connectunt.

▪ MFC (Moderator Fluxus Massae):

Instrumentum quod fluxum gasis intra tubum quartzosum moderatur ut quantitatem gasis requisitam accurate regulet.

▪ Ventilatio:

Adhibetur ad gas exhaustum ex interiori tubi fornacis ad exteriora apparati emittendum.

Pars inferior:

▪ Crustulae siliconis in receptaculo:

Lamellae siliconis in speciali receptaculo continentur ut calor aequabilis durante oxidatione praestetur.

▪ Continetor Oblatae:

Adhibetur ad laminam siliconis tenendam et ad curandum ut lamina siliconis stabilis maneat per processum.

▪ Basis:

Structura quae lamellam siliconis sustinet, plerumque ex materia altae temperaturae resistente facta.

▪ Ascensor:

Ad tollendos et exponendos receptacula laminarum silicii adhibetur, ut laminae siliconis automatice onerandae et exonerandae sint.

▪ Automatum Transferens Crustularum:

In latere instrumenti tubi fornacis situm, adhibetur ad laminam silicii e capsa sponte removendam et in tubum fornacis collocandam, vel post processum removendam.

▪ Carrusella Repositoria Cassettarum:

Carousel repositionis cassettarum ad capsam continentem laminas silicii reponendum adhibetur et rotari potest ad accessum robotis.

▪ Cassetta Oblatarum:

Cassetta laminarum ad laminas silicii tractandas conservandas et transferendas adhibetur.