Den interna strukturen hos ugnsrörsutrustningen förklaras i detalj

Som visas ovan är en typisk

Första halvan:

▪ Värmeelement (värmespole):

belägna runt ugnsröret, vanligtvis gjorda av motståndstrådar, som används för att värma upp insidan av ugnsröret.

▪ Kvartsrör:

Kärnan i en varmoxidationsugn, tillverkad av högren kvarts som tål höga temperaturer och förblir kemiskt inert.

▪ Gasmatning:

Den är placerad på den övre eller sidan av ugnsröret och används för att transportera syre eller andra gaser till insidan av ugnsröret.

▪ Fläns i rostfritt stål:

Komponenter som förbinder kvartsrör och gasledningar, vilket säkerställer anslutningens täthet och stabilitet.

▪ Gasledningar:

Rör som ansluter MFC till gastillförselporten för gasöverföring.

▪ MFC (Massflödesregulator):

En anordning som styr gasflödet inuti ett kvartsrör för att exakt reglera den mängd gas som behövs.

▪ Ventilation:

Används för att ventilera avgaserna från ugnsrörets insida till utrustningens utsida.

Underdel:

▪ Kiselskivor i hållare:

Kiselskivor är inrymda i en speciell hållare för att säkerställa jämn värme under oxidationen.

▪ Råhållare:

Används för att hålla kiselskivan och säkerställa att den förblir stabil under processen.

▪ Piedestal:

En struktur som håller en kiselskiva. Hållare, vanligtvis tillverkad av ett högtemperaturbeständigt material.

▪ Hiss:

Används för att lyfta skivhållare in i och ur kvartsrör för automatisk lastning och lossning av kiselskivor.

▪ Waferöverföringsrobot:

Den är placerad på sidan av ugnsrörsanordningen och används för att automatiskt ta bort kiselskivan från lådan och placera den i ugnsröret, eller ta bort den efter bearbetning.

▪ Kassettförvaringskarusell:

Kassettförvaringskarusellen används för att förvara en låda som innehåller kiselskivor och kan roteras för robotåtkomst.

▪ Waferkassett:

Waferkassett används för att lagra och överföra de kiselskivor som ska bearbetas.