भट्टी की नली के उपकरण की आंतरिक संरचना को विस्तार से समझाया गया है।

जैसा कि ऊपर दिखाया गया है, यह एक विशिष्ट है

पहला भाग:

▪ हीटिंग एलिमेंट (हीटिंग कॉइल):

भट्टी की नली के चारों ओर स्थित, आमतौर पर प्रतिरोध तारों से बना होता है, जिसका उपयोग भट्टी की नली के अंदरूनी हिस्से को गर्म करने के लिए किया जाता है।

▪ क्वार्ट्ज ट्यूब:

गर्म ऑक्सीकरण भट्टी का केंद्र, उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज से बना होता है जो उच्च तापमान को सहन कर सकता है और रासायनिक रूप से निष्क्रिय रहता है।

▪ गैस आपूर्ति:

भट्टी की नली के ऊपरी या किनारे पर स्थित, इसका उपयोग ऑक्सीजन या अन्य गैसों को भट्टी की नली के अंदर ले जाने के लिए किया जाता है।

▪ एसएस फ्लेंज:

क्वार्ट्ज ट्यूबों और गैस लाइनों को जोड़ने वाले घटक, जो कनेक्शन की जकड़न और स्थिरता सुनिश्चित करते हैं।

▪ गैस आपूर्ति लाइनें:

गैस संचरण के लिए एमएफसी को गैस आपूर्ति पोर्ट से जोड़ने वाली पाइपें।

▪ एमएफसी (मास फ्लो कंट्रोलर):

एक ऐसा उपकरण जो क्वार्ट्ज ट्यूब के अंदर गैस के प्रवाह को नियंत्रित करता है ताकि आवश्यक गैस की मात्रा को सटीक रूप से विनियमित किया जा सके।

▪ भड़ास निकालना:

इसका उपयोग भट्टी की नली के अंदर से निकलने वाली अपशिष्ट गैस को उपकरण के बाहर निकालने के लिए किया जाता है।

निचले हिस्से:

▪ होल्डर में सिलिकॉन वेफर्स:

ऑक्सीकरण के दौरान एकसमान ऊष्मा सुनिश्चित करने के लिए सिलिकॉन वेफर्स को एक विशेष होल्डर में रखा जाता है।

▪ वेफर होल्डर:

इसका उपयोग सिलिकॉन वेफर को पकड़ने और यह सुनिश्चित करने के लिए किया जाता है कि प्रक्रिया के दौरान सिलिकॉन वेफर स्थिर रहे।

▪ आधार:

सिलिकॉन वेफर को पकड़ने वाली संरचना, जो आमतौर पर उच्च तापमान प्रतिरोधी सामग्री से बनी होती है।

▪ लिफ्ट:

सिलिकॉन वेफर्स की स्वचालित लोडिंग और अनलोडिंग के लिए वेफर होल्डर्स को क्वार्ट्ज ट्यूबों के अंदर और बाहर उठाने के लिए उपयोग किया जाता है।

▪ वेफर ट्रांसफर रोबोट:

भट्टी की नली के किनारे पर स्थित यह उपकरण सिलिकॉन वेफर को बॉक्स से स्वचालित रूप से निकालने और उसे भट्टी की नली में रखने या प्रसंस्करण के बाद उसे निकालने के लिए उपयोग किया जाता है।