Szczegółowo wyjaśniono wewnętrzną strukturę wyposażenia pieca rurowego

Jak pokazano powyżej, jest to typowy

Pierwsza połowa:

▪ Element grzejny (cewka grzewcza):

umieszczone wokół rury pieca, zwykle wykonane z drutów oporowych, służące do ogrzewania wnętrza rury pieca.

▪ Rura kwarcowa:

Rdzeń pieca do gorącego utleniania wykonany z kwarcu o wysokiej czystości, który może wytrzymać wysokie temperatury i pozostać chemicznie obojętny.

▪ Zasilanie gazowe:

Znajduje się w górnej części rury pieca lub na jej boku. Jego zadaniem jest transport tlenu lub innych gazów do wnętrza rury pieca.

▪ Kołnierz ze stali nierdzewnej:

elementy łączące rury kwarcowe z przewodami gazowymi, zapewniające szczelność i stabilność połączenia.

▪ Przewody doprowadzające gaz:

Rury łączące MFC z portem doprowadzającym gaz w celu przesyłu gazu.

▪ MFC (Kontroler przepływu masy):

Urządzenie kontrolujące przepływ gazu wewnątrz rurki kwarcowej w celu precyzyjnego ustawienia ilości potrzebnego gazu.

▪ Otwór wentylacyjny:

Służy do odprowadzania spalin z wnętrza rury pieca na zewnątrz urządzenia.

Dolna część:

▪ Płytki krzemowe w uchwycie:

Płytki krzemowe umieszczane są w specjalnym uchwycie, który zapewnia równomierne rozprowadzanie ciepła podczas utleniania.

▪ Uchwyt na opłatki:

Służy do przytrzymywania płytki krzemowej i zapewnia jej stabilność w trakcie procesu.

▪ Postument:

Konstrukcja mocująca płytkę krzemową, zwykle wykonana z materiału odpornego na wysoką temperaturę.

▪ Winda:

Służy do podnoszenia uchwytów na wafle do i z rur kwarcowych w celu automatycznego załadunku i rozładunku wafli krzemowych.

▪ Robot do transferu płytek:

Znajduje się z boku urządzenia rurowego pieca i służy do automatycznego wyjmowania płytki krzemowej z pojemnika i umieszczania jej w rurze pieca lub wyjmowania jej po przetworzeniu.

▪ Karuzela do przechowywania kaset:

Karuzela do przechowywania kaset służy do przechowywania pudełek zawierających płytki krzemowe. Można ją obracać, aby umożliwić robotowi dostęp do niej.