Vnútorná štruktúra zariadenia pece je podrobne vysvetlená

Ako je uvedené vyššie, je typickým

Prvá polovica:

▪ Vykurovací článok (vykurovacia špirála):

umiestnené okolo rúrky pece, zvyčajne vyrobené z odporových drôtov, používané na ohrev vnútra rúrky pece.

▪ Kremenná trubica:

Jadro horúcej oxidačnej pece vyrobené z vysoko čistého kremeňa, ktorý odoláva vysokým teplotám a zostáva chemicky inertný.

▪ Prívod plynu:

Nachádza sa v hornej alebo bočnej časti rúry pece a slúži na prepravu kyslíka alebo iných plynov do vnútra rúry pece.

▪ Príruba z nehrdzavejúcej ocele:

komponenty, ktoré spájajú kremenné trubice a plynové potrubia, čím zabezpečujú tesnosť a stabilitu spojenia.

▪ Prívodné plynové potrubia:

Potrubia, ktoré spájajú MFC s prívodným portom plynu na prepravu plynu.

▪ MFC (regulátor hmotnostného prietoku):

Zariadenie, ktoré riadi tok plynu vo vnútri kremennej trubice, aby presne regulovalo potrebné množstvo plynu.

▪ Vetranie:

Používa sa na odvetranie výfukových plynov z vnútra rúry pece smerom von zo zariadenia.

Spodná časť:

▪ Silikónové doštičky v držiaku:

Kremíkové doštičky sú umiestnené v špeciálnom držiaku, aby sa zabezpečilo rovnomerné teplo počas oxidácie.

▪ Držiak na oblátky:

Používa sa na držanie kremíkového plátku a zabezpečenie jeho stability počas procesu.

▪ Podstavec:

Konštrukcia, ktorá drží držiak kremíkových doštičiek, zvyčajne vyrobená z materiálu odolného voči vysokým teplotám.

▪ Výťah:

Používa sa na zdvíhanie držiakov kremíkových doštičiek do a z kremenných trubíc pre automatické vkladanie a vykladanie kremíkových doštičiek.

▪ Robot na prenos doštičiek:

Nachádza sa na boku zariadenia s rúrkou pece a slúži na automatické vybratie kremíkovej doštičky z krabice a jej umiestnenie do rúrky pece alebo na jej vybratie po spracovaní.

▪ Karusel na ukladanie kaziet:

Karusel na ukladanie kaziet sa používa na uloženie krabice obsahujúcej kremíkové doštičky a je možné ho otáčať pre prístup robota.

▪ Kazeta s oblátkami:

Kazeta s kremíkovými doštičkami sa používa na skladovanie a prepravu kremíkových doštičiek určených na spracovanie.