Déi intern Struktur vun der Uewenröhrenausrüstung gëtt am Detail erkläert

Wéi uewe gewisen, ass eng typesch

Déi éischt Hallschent:

▪ Heizelement (Heizspiral):

ronderëm d'Uewenrouer lokaliséiert, normalerweis aus Widderstandsdrot gemaach, déi benotzt gi fir d'Innere vum Uewenrouer ze hëtzen.

▪ Quarzröhrchen:

De Kär vun engem waarmen Oxidatiounsuewen, aus héichreinem Quarz, deen héijen Temperaturen aushält a chemesch inert bleift.

▪ Gaszufuhr:

Et ass uewen oder op der Säit vum Uewenröhrchen placéiert a gëtt benotzt fir Sauerstoff oder aner Gaser an d'Innere vum Uewenröhrchen ze transportéieren.

▪ SS-Flansch:

Komponenten, déi Quarzréier a Gasleitungen verbannen, fir d'Dichtheet an d'Stabilitéit vun der Verbindung ze garantéieren.

▪ Gasleitungen:

Päifen, déi den MFC mat dem Gasversuergungsanschluss fir den Gastransport verbannen.

▪ MFC (Massenduerchflussregler):

En Apparat, deen de Gasfloss an engem Quarzröhr kontrolléiert, fir déi néideg Gasquantitéit präzis ze reguléieren.

▪ Entlüftung:

Benotzt fir den Ofgas vun der bannenzeger Säit vum Uewenrouer no baussen vum Apparat ze entlüften.

Ënneschten Deel:

▪ Siliziumwaferen am Halter:

Siliziumwafere sinn an engem speziellen Halter ënnerbruecht, fir eng gläichméisseg Hëtzt während der Oxidatioun ze garantéieren.

▪ Waferhalter:

Gëtt benotzt fir de Siliziumwafer ze halen an dofir ze suergen, datt de Siliziumwafer während dem Prozess stabil bleift.

▪ Sockel:

Eng Struktur, déi en Halter fir Siliziumwafer hält, normalerweis aus engem héichtemperaturbeständege Material.

▪ Lift:

Gëtt benotzt fir Waferhalter an an aus Quarzréier ze hiewen fir automatesch Belueden an Entlueden vu Siliziumwafers.

▪ Wafer-Transferroboter:

Si läit op der Säit vum Uewenröhrchen-Apparat a gëtt benotzt fir de Siliziumwafer automatesch aus der Këscht ze huelen an an den Uewenröhrchen ze leeën, oder en no der Veraarbechtung ze läschen.