L-istruttura interna tat-tagħmir tat-tubi tal-forn hija spjegata fid-dettall

Kif muri hawn fuq, huwa tipiku

L-ewwel taqsima:

▪ Element tat-Tisħin (kolja tat-tisħin):

li jinsab madwar it-tubu tal-forn, ġeneralment magħmul minn wajers ta' reżistenza, użat biex isaħħan in-naħa ta' ġewwa tat-tubu tal-forn.

▪ Tubu tal-Kwarz:

Il-qalba ta' forn ta' ossidazzjoni sħuna, magħmula minn kwarz ta' purità għolja li jista' jiflaħ temperaturi għoljin u jibqa' kimikament inerti.

▪ Alimentazzjoni tal-Gass:

Jinsab fil-parti ta' fuq jew fil-ġenb tat-tubu tal-forn, jintuża biex jittrasporta l-ossiġnu jew gassijiet oħra lejn ġewwa t-tubu tal-forn.

▪ Flanġ tal-SS:

Komponenti li jgħaqqdu tubi tal-kwarz u linji tal-gass, u jiżguraw l-issikkar u l-istabbiltà tal-konnessjoni.

▪ Linji tal-Alimentazzjoni tal-Gass:

Pajpijiet li jgħaqqdu l-MFC mal-port tal-provvista tal-gass għat-trażmissjoni tal-gass.

▪ MFC (Kontrollur tal-Fluss tal-Massa):

Apparat li jikkontrolla l-fluss tal-gass ġewwa tubu tal-kwarz biex jirregola b'mod preċiż l-ammont ta' gass meħtieġ.

▪ Ventilazzjoni:

Użat biex joħroġ il-gass tal-egżost minn ġewwa t-tubu tal-forn għal barra t-tagħmir.

Il-parti t'isfel:

▪ Wejfers tas-silikon fil-Holder:

Il-wejfers tas-silikon huma miżmuma f'Holder speċjali biex jiżguraw sħana uniformi waqt l-ossidazzjoni.

▪ Detentur tal-Wafer:

Użat biex iżomm il-wejfer tas-silikon u jiżgura li l-wejfer tas-silikon jibqa' stabbli matul il-proċess.

▪ Pedestall:

Struttura li żżomm Detentur ta' wejfer tas-silikon, ġeneralment magħmul minn materjal reżistenti għal temperatura għolja.

▪ Lift:

Użat biex jerfa' d-detenturi tal-wejfers ġewwa u barra minn tubi tal-kwarz għat-tagħbija u l-ħatt awtomatiku ta' wejfers tas-silikon.

▪ Robot tat-Trasferiment tal-Wafers:

Jinsab fuq in-naħa tal-apparat tat-tubu tal-forn, jintuża biex ineħħi awtomatikament il-wejfer tas-silikon mill-kaxxa u jpoġġih fit-tubu tal-forn, jew ineħħih wara l-ipproċessar.

▪ Karużell tal-Ħażna tal-Kassetti:

Karużell tal-ħażna tal-cassette jintuża biex jaħżen kaxxa li fiha wejfers tas-silikon u jista' jiddawwar għall-aċċess tar-robot.

▪ Kassetta tal-Wejfer:

Il-kasett tal-wejfer jintuża biex jaħżen u jittrasferixxi l-wejfers tas-silikon li għandhom jiġu pproċessati.