Детально пояснюється внутрішня будова обладнання трубної печі

Як показано вище, це типовий

Перша половина:

▪ Нагрівальний елемент (нагрівальна спіраль):

розташовані навколо труби печі, зазвичай виготовлені з дротів опору, що використовуються для нагрівання внутрішньої частини труби печі.

▪ Кварцова трубка:

Серцевина печі для гарячого окислення, виготовлена з високочистого кварцу, який може витримувати високі температури та залишатися хімічно інертним.

▪ Подача газу:

Розташований у верхній або бічній частині труби печі, він використовується для транспортування кисню або інших газів всередину труби печі.

▪ Фланець з нержавіючої сталі:

компоненти, що з'єднують кварцові трубки та газові лінії, забезпечуючи герметичність та стабільність з'єднання.

▪ Газопроводи:

Труби, що з'єднують MFC з портом подачі газу для передачі газу.

▪ MFC (контролер масової витрати):

Пристрій, який контролює потік газу всередині кварцової трубки для точного регулювання необхідної кількості газу.

▪ Вентиляція:

Використовується для відведення відпрацьованих газів зсередини труби печі назовні обладнання.

Нижня частина:

▪ Кремнієві пластини в тримачі:

Кремнієві пластини розміщуються в спеціальному тримачі для забезпечення рівномірного нагрівання під час окислення.

▪ Тримач для пластин:

Використовується для утримання кремнієвої пластини та забезпечення її стабільності під час процесу.

▪ П'єдестал:

Конструкція, що утримує тримач кремнієвої пластини, зазвичай виготовлена з матеріалу, стійкого до високих температур.

▪ Ліфт:

Використовується для підйому тримачів для пластин у кварцові трубки та з них для автоматичного завантаження та розвантаження кремнієвих пластин.

▪ Робот для перенесення пластин:

Розташований збоку пристрою трубки печі, він використовується для автоматичного видалення кремнієвої пластини з коробки та розміщення її в трубці печі або видалення її після обробки.